| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 引言 | 第10-12页 |
| 第一章 文献综述 | 第12-38页 |
| 1． 1 铁电材料概述 | 第12-16页 |
| 1． 1． 1 铁电材料的发展概况 | 第12-13页 |
| 1． 1． 2 铁电材料的性质及应用 | 第13-14页 |
| 1． 1． 3 钙钛矿相铁电材料结构及性能 | 第14-16页 |
| 1． 2 铁电材料的电压非线性特性 | 第16-20页 |
| 1． 2． 1 铁电材料非线性及影响因素 | 第16-18页 |
| 1． 2． 2 铁电材料非线性的理论研究 | 第18-20页 |
| 1． 3 铁电微波调谐材料的应用背景及研究进展 | 第20-30页 |
| 1． 3． 1 铁电微波调谐材料的应用背景 | 第20-23页 |
| 1． 3． 2 铁电微波调谐材料的研究进展 | 第23-30页 |
| 1． 4 微波可调器件对铁电微波可调材料的要求 | 第30-32页 |
| 1． 5 铁电薄膜的制备工艺 | 第32-36页 |
| 1． 5． 1 溅射法 | 第32-33页 |
| 1． 5． 2 化学气相沉积法 | 第33-34页 |
| 1． 5． 3 脉冲激光沉积法 | 第34-35页 |
| 1． 5． 4 溶胶-凝胶法 | 第35-36页 |
| 1． 6 本课题研究的目的和意义 | 第36-38页 |
| 第二章 实验 | 第38-44页 |
| 2． 1 实验原料与仪器 | 第38-39页 |
| 2． 1． 1 实验原料 | 第38-39页 |
| 2． 1． 2 实验设备及器材 | 第39页 |
| 2． 1． 3 测试仪器 | 第39页 |
| 2． 2 薄膜样品的制备 | 第39-42页 |
| 2． 2． 1 基板的清洗工艺 | 第39-40页 |
| 2． 2． 2 溶胶先驱体的制备 | 第40-41页 |
| 2． 2． 3 薄膜的制备 | 第41-42页 |
| 2． 3 薄膜的结构与性能测试 | 第42-44页 |
| 2． 3． 1 XRD结构测试 | 第42页 |
| 2． 3． 2 SEM形貌测量 | 第42页 |
| 2． 3． 3 介电性能测量 | 第42-44页 |
| 第三章 Mg掺杂PST薄膜形成与制备研究 | 第44-54页 |
| 3． 1 Mg掺杂对PST薄膜晶相形成的影响 | 第44-51页 |
| 3． 2 Mg掺杂对PST薄膜热处理过程的影响 | 第51-52页 |
| 3． 3 Mg掺杂PST薄膜表面与断面形貌 | 第52-53页 |
| 3． 4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 Mg掺杂PST薄膜掺杂浓度和热处理温度对介电性能影响的研究 | 第54-66页 |
| 4． 1 掺杂浓度对Mg掺杂PST薄膜介电性能的影响 | 第54-60页 |
| 4． 2 烧结温度对Mg掺杂PST薄膜介电性能的影响 | 第60-65页 |
| 4． 3 本章小结 | 第65-66页 |
| 第五章 Mg掺杂PST薄膜介电调谐性能研究 | 第66-77页 |
| 5． 1 Mg掺杂PST薄膜不同频率下电容值与外加偏压的关系 | 第66-71页 |
| 5． 2 Mg掺杂PST薄膜的损耗因子与外加偏压的关系 | 第71-73页 |
| 5． 3 Mg掺杂PST薄膜偏压下电容与损耗因子相互关系 | 第73-76页 |
| 5． 4 本章小结 | 第76-77页 |
| 第六章 结论 | 第77-80页 |
| 参考文献 | 第80-86页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
