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VO2/Nb:SrTiO3异质结的电学性质及纳米团簇对VO2薄膜光电性质影响的研究

致谢第1-6页
中文摘要第6-8页
ABSTRACT第8-13页
第一章 绪论第13-23页
   ·引言第13页
   ·VO_2的晶格结构及其性质第13-17页
     ·VO_2晶体的晶格结构第13-15页
     ·VO_2晶体在相变过程中的结构和能带变化第15-16页
     ·VO_2薄膜的主要性质第16-17页
   ·VO_2薄膜的应用及掺杂对V02性质的影响第17-19页
     ·VO_2薄膜的主要应用第17-18页
     ·掺杂对VO_2光电性质的影响第18-19页
   ·异质结的定义、特性及其发展应用第19-21页
     ·异质结的基本概念和分类第19-20页
     ·异质结的特点第20页
     ·异质结的发展及其应用第20-21页
   ·本文主要工作第21-23页
第二章 二氧化钒薄膜的制备方法第23-29页
   ·现有薄膜制备方法简介第23-25页
     ·化学气相沉积法第23页
     ·溶胶-凝胶法第23-24页
     ·真空蒸镀法第24页
     ·溅射法第24-25页
   ·二氧化钒薄膜的实验制备第25-29页
     ·实验原理第25-26页
     ·实验仪器及主要参数第26-27页
     ·实验步骤第27-29页
第三章 二氧化钒薄膜的纳米团簇掺杂第29-41页
   ·纳米球刻蚀技术原理第29页
   ·单层胶体球掩膜板的制备第29-37页
     ·电场下自组装法第30-32页
     ·肥皂泡膜自组装法第32-34页
     ·表面张力自组装法第34-37页
   ·实验样品制备第37-40页
     ·不掺杂的含有纳米团簇结构的二氧化钒薄膜的制备第37-39页
     ·铂纳米团簇掺杂的二氧化钒薄膜的制备第39-40页
   ·本章小结第40-41页
第四章 纳米团簇掺杂的二氧化钒薄膜的性质测试第41-62页
   ·电学性质测试及数据分析第41-51页
     ·测试原理和实验仪器第41页
     ·测试结果和数据分析第41-51页
   ·光学性质测试及数据分析第51-58页
     ·测试原理和实验仪器第51-53页
     ·测试结果和数据分析第53-58页
   ·样品的XRD测试第58-59页
     ·XRD测试原理第58页
     ·测试结果第58-59页
   ·样品的SEM测试第59-61页
     ·SEM测试原理第59-60页
     ·测试结果第60-61页
   ·样品的薄膜厚度测试第61-62页
第五章 VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的制备及其电学性质的研究第62-76页
   ·VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的制备第62-65页
     ·掺铌钛酸锶(Nb:SrTiO_3)简介第62页
     ·异质结的制备和薄膜性质测试第62-64页
     ·VO_2和Nb:SrTiO_3的导电类型测试第64页
     ·电极的制备第64-65页
   ·VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的电学性质测试第65-75页
     ·电极和半导体的欧姆接触验证第65-66页
     ·VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的电流-电压性质第66-72页
     ·VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的电滞现象第72-74页
     ·VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的光生伏特效应第74-75页
   ·本章小结第75-76页
第六章 结论第76-78页
参考文献第78-85页
附录第85-86页
作者简介第86-88页
学位论文数据集第88页

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