致谢 | 第1-6页 |
中文摘要 | 第6-8页 |
ABSTRACT | 第8-13页 |
第一章 绪论 | 第13-23页 |
·引言 | 第13页 |
·VO_2的晶格结构及其性质 | 第13-17页 |
·VO_2晶体的晶格结构 | 第13-15页 |
·VO_2晶体在相变过程中的结构和能带变化 | 第15-16页 |
·VO_2薄膜的主要性质 | 第16-17页 |
·VO_2薄膜的应用及掺杂对V02性质的影响 | 第17-19页 |
·VO_2薄膜的主要应用 | 第17-18页 |
·掺杂对VO_2光电性质的影响 | 第18-19页 |
·异质结的定义、特性及其发展应用 | 第19-21页 |
·异质结的基本概念和分类 | 第19-20页 |
·异质结的特点 | 第20页 |
·异质结的发展及其应用 | 第20-21页 |
·本文主要工作 | 第21-23页 |
第二章 二氧化钒薄膜的制备方法 | 第23-29页 |
·现有薄膜制备方法简介 | 第23-25页 |
·化学气相沉积法 | 第23页 |
·溶胶-凝胶法 | 第23-24页 |
·真空蒸镀法 | 第24页 |
·溅射法 | 第24-25页 |
·二氧化钒薄膜的实验制备 | 第25-29页 |
·实验原理 | 第25-26页 |
·实验仪器及主要参数 | 第26-27页 |
·实验步骤 | 第27-29页 |
第三章 二氧化钒薄膜的纳米团簇掺杂 | 第29-41页 |
·纳米球刻蚀技术原理 | 第29页 |
·单层胶体球掩膜板的制备 | 第29-37页 |
·电场下自组装法 | 第30-32页 |
·肥皂泡膜自组装法 | 第32-34页 |
·表面张力自组装法 | 第34-37页 |
·实验样品制备 | 第37-40页 |
·不掺杂的含有纳米团簇结构的二氧化钒薄膜的制备 | 第37-39页 |
·铂纳米团簇掺杂的二氧化钒薄膜的制备 | 第39-40页 |
·本章小结 | 第40-41页 |
第四章 纳米团簇掺杂的二氧化钒薄膜的性质测试 | 第41-62页 |
·电学性质测试及数据分析 | 第41-51页 |
·测试原理和实验仪器 | 第41页 |
·测试结果和数据分析 | 第41-51页 |
·光学性质测试及数据分析 | 第51-58页 |
·测试原理和实验仪器 | 第51-53页 |
·测试结果和数据分析 | 第53-58页 |
·样品的XRD测试 | 第58-59页 |
·XRD测试原理 | 第58页 |
·测试结果 | 第58-59页 |
·样品的SEM测试 | 第59-61页 |
·SEM测试原理 | 第59-60页 |
·测试结果 | 第60-61页 |
·样品的薄膜厚度测试 | 第61-62页 |
第五章 VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的制备及其电学性质的研究 | 第62-76页 |
·VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的制备 | 第62-65页 |
·掺铌钛酸锶(Nb:SrTiO_3)简介 | 第62页 |
·异质结的制备和薄膜性质测试 | 第62-64页 |
·VO_2和Nb:SrTiO_3的导电类型测试 | 第64页 |
·电极的制备 | 第64-65页 |
·VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的电学性质测试 | 第65-75页 |
·电极和半导体的欧姆接触验证 | 第65-66页 |
·VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的电流-电压性质 | 第66-72页 |
·VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的电滞现象 | 第72-74页 |
·VO_2/Nb:SrTiO_3异质结的光生伏特效应 | 第74-75页 |
·本章小结 | 第75-76页 |
第六章 结论 | 第76-78页 |
参考文献 | 第78-85页 |
附录 | 第85-86页 |
作者简介 | 第86-88页 |
学位论文数据集 | 第88页 |