| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| ·课题的背景和意义 | 第13页 |
| ·复杂制造设备维护的研究现状 | 第13-18页 |
| ·制造设备的维护方式及维护效果 | 第14-15页 |
| ·半导体制造设备的维护策略 | 第15-17页 |
| ·制造设备的维护建模方法 | 第17-18页 |
| ·论文的主要内容和结构安排 | 第18-21页 |
| 第二章 基于连续状态劣化模型的多设备系统视情维护策略 | 第21-33页 |
| ·Monte Carlo 方法 | 第21-23页 |
| ·设备劣化模型 | 第23-25页 |
| ·单设备劣化模型 | 第23页 |
| ·多设备劣化模型 | 第23-25页 |
| ·维修策略 | 第25-27页 |
| ·维修效果 | 第25-26页 |
| ·维修时间和更换时间 | 第26页 |
| ·维修费用 | 第26-27页 |
| ·基于 Monte Carlo 仿真的设备维修决策 | 第27-29页 |
| ·仿真实例 | 第29-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第三章 基于连续时间 Markov 链的串并联制造系统视情机会维护策略 | 第33-47页 |
| ·Markov 过程 | 第33-38页 |
| ·离散时间 Markov 链（DTMC） | 第34-35页 |
| ·连续时间 Markov 链（CTMC） | 第35-38页 |
| ·基于连续时间 Markov 链的视情维护策略 | 第38-43页 |
| ·设备劣化模型 | 第39-40页 |
| ·视情机会维护策略 | 第40-41页 |
| ·设备维修仿真 | 第41-43页 |
| ·仿真实例 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-47页 |
| 第四章 基于 Markov 决策过程的复杂制造系统设备维护调度 | 第47-61页 |
| ·Markov 决策过程 | 第47-48页 |
| ·设备层维护策略 | 第48-51页 |
| ·设备劣化模型 | 第48-49页 |
| ·维护策略 | 第49-51页 |
| ·系统层维护策略 | 第51-56页 |
| ·系统层设备维修调度方案的优化模型 | 第53页 |
| ·用遗传算法求解模型 | 第53-56页 |
| ·仿真实例 | 第56-59页 |
| ·小结 | 第59-61页 |
| 第五章 总结和展望 | 第61-63页 |
| ·全文总结 | 第61页 |
| ·展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 作者和导师简介 | 第68-69页 |
| 硕士研究生学位论文答辩委员会决议书 | 第69-70页 |
