| 声明 | 第1-4页 |
| 中文摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪 论 | 第11-33页 |
| ·类金刚石膜发展史和近年研究热点 | 第11-15页 |
| ·类金刚石薄膜发展史 | 第13页 |
| ·近年研究热点 | 第13-15页 |
| ·类金刚石膜的性质及应用 | 第15-21页 |
| ·类金刚石膜性能 | 第15-17页 |
| ·类金刚石膜的应用 | 第17-21页 |
| ·常用制备方法 | 第21-25页 |
| ·物理气相沉积 | 第21-23页 |
| ·化学气相沉积 | 第23-25页 |
| ·不锈钢上沉积DLC薄膜的研究进展 | 第25-26页 |
| ·本课题的研究内容 | 第26-27页 |
| 参考文献 | 第27-33页 |
| 第二章 类金刚石薄膜材料的制备 | 第33-45页 |
| ·概述 | 第33-34页 |
| ·DLC 薄膜材料设计 | 第34-35页 |
| ·DLC 薄膜材料制备方法及条件 | 第35-40页 |
| ·过渡层的制备 | 第35页 |
| ·类金刚石膜的制备 | 第35-40页 |
| ·不同基体上DLC薄膜的生成 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42页 |
| 参考文献 | 第42-45页 |
| 第三章 类金刚石薄膜材料的表征 | 第45-65页 |
| ·结构分析 | 第45-57页 |
| ·沉积膜的 Raman 谱表征 | 第45-52页 |
| ·沉积膜的 X 射线衍射图谱 | 第52页 |
| ·沉积膜的付氏红外光谱图 | 第52-54页 |
| ·沉积膜的 X 射线光电子能谱 | 第54-57页 |
| ·形貌分析 | 第57-62页 |
| ·原子力显微镜分析 | 第57-60页 |
| ·扫描电镜分析 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 第四章 DLC 膜的机械性能及摩擦学特性 | 第65-81页 |
| ·前言 | 第65-66页 |
| ·试验部分 | 第66-68页 |
| ·结果与讨论 | 第68-78页 |
| ·类金刚石膜的摩擦系数 | 第68-71页 |
| ·膜与基材的结合力 | 第71-74页 |
| ·膜的磨损表面形貌图 | 第74-76页 |
| ·磨损区域的Raman 谱图 | 第76-78页 |
| ·膜的显微硬度 | 第78页 |
| ·本章小结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-81页 |
| 第五章 射频 PECVD 沉积 DLC 膜的机理探索 | 第81-99页 |
| ·类金刚石膜成膜机理及理论 | 第81-84页 |
| ·基本理论 | 第81-83页 |
| ·a-C:H 膜成膜机理 | 第83-84页 |
| ·氢对金刚石结构的稳定作用 | 第84-86页 |
| ·DLC 薄膜的结构 | 第86-89页 |
| ·基体预处理对合成 DLC 膜的影响 | 第89-92页 |
| ·基体的预处理方式 | 第89-90页 |
| ·结果与讨论 | 第90-92页 |
| ·不锈钢表面碳化钛、氮化钛过渡层对合成DLC膜的影响 | 第92-94页 |
| ·不锈钢样品0Cr18Ni9Ti的Ti、TiN和TiC 沉积 | 第92-93页 |
| ·过渡层上DLC 膜的合成及表征 | 第93-94页 |
| ·实验条件对DLC膜的影响 | 第94-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-99页 |
| 第六章 结 论 | 第99-103页 |
| ·本论文工作的主要特点 | 第99-100页 |
| ·一些探讨性的实验 | 第100页 |
| ·下一步可开展的工作 | 第100-102页 |
| 参考文献 | 第102-103页 |
| 致 谢 | 第103-105页 |
| 个人简历 | 第105-106页 |
| 博士期间发表论文情况 | 第106-107页 |
