| 第一章 绪论 | 第1-27页 |
| ·论文背景 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-25页 |
| ·论文的主要工作 | 第25-27页 |
| 第二章 压电陶瓷执行器基础及迟滞非线性成因分析 | 第27-46页 |
| ·压电陶瓷执行器基础 | 第27-37页 |
| ·本文所用压电陶瓷执行器的结构形式、边界条件及基本参数 | 第37-38页 |
| ·压电陶瓷执行器迟滞非线性成因分析 | 第38-44页 |
| ·本章小结 | 第44-46页 |
| 第三章 压电陶瓷执行器迟滞非线性建模 | 第46-61页 |
| ·对压电陶瓷执行器迟滞非线性模型的要求 | 第46页 |
| ·压电陶瓷执行器迟滞非线性的性质 | 第46-47页 |
| ·基于坐标变换的迟滞非线性模型的建立 | 第47-52页 |
| ·迟滞非线性模型的实现 | 第52-54页 |
| ·模型与实测值之间误差的影响因素分析 | 第54-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 压电陶瓷执行器位移自感知 | 第61-74页 |
| ·自感知压电陶瓷执行器的等效电路模型 | 第61-62页 |
| ·基于积分器电路的压电陶瓷执行器的位移自感知 | 第62-66页 |
| ·基于积分器的压电陶瓷执行器位移自感知的实验验证 | 第66-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第五章 压电微动工作台动力学分析 | 第74-89页 |
| ·压电微动工作台结构及其工作原理 | 第74-75页 |
| ·压电微动工作台动力学模型 | 第75-79页 |
| ·预紧力对压电微动工作台动静态性能的影响 | 第79-80页 |
| ·弹性力对压电陶瓷执行器输出位移的影响 | 第80-85页 |
| ·压电微动工作台固有频率的测试 | 第85-87页 |
| ·本草小结 | 第87-89页 |
| 第六章 压电微动工作台位移复合控制 | 第89-107页 |
| ·控制方式、反馈方式和校正方式的确定 | 第89-91页 |
| ·基于迟滞非线性模型的前馈补偿同弱积分与加权微分PID调节相结合的复合控制器设计 | 第91-100页 |
| ·压电微动工作台自感知反馈控制实验研究 | 第100-102页 |
| ·各控制方法之间的对比实验研究 | 第102-105页 |
| ·本章小结 | 第105-107页 |
| 第七章 结论与展望 | 第107-110页 |
| ·结论 | 第107-108页 |
| ·进一步工作展望 | 第108-110页 |
| 参考文献 | 第110-115页 |
| 创新点摘要 | 第115-116页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第116-117页 |
| 致谢 | 第117-116页 |
| 附录 | 第116-118页 |
| 附录Ⅰ 压电陶瓷执行器照片 | 第118-119页 |
| 附录Ⅱ压电陶瓷执行器位移采集及自感知电路系统 | 第119-121页 |
| 附录Ⅲ 二维压电微动工作台结构设计 | 第121-124页 |
| 附录Ⅳ 二维压电微动工作台照片 | 第124-125页 |
| 附录Ⅴ 二维压电微动工作台实验系统照片 | 第125-126页 |
| 论文版权使用授权书 | 第126-127页 |