微泵的理论建模及静动态特性分析
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-25页 |
| ·研究背景 | 第11-14页 |
| ·国外微机械技术发展现状 | 第12-13页 |
| ·我国微机械技术发展现状 | 第13-14页 |
| ·MEMS发展方向 | 第14页 |
| ·微泵技术简介 | 第14-23页 |
| ·微泵模型简介 | 第14-15页 |
| ·微泵进展 | 第15-22页 |
| ·存在的问题及发展趋势 | 第22-23页 |
| ·微泵的应用 | 第23页 |
| ·本文的主要工作 | 第23-25页 |
| 2 微泵的理论建模 | 第25-34页 |
| ·振膜式微机械泵的结构 | 第25页 |
| ·模型的基本假设 | 第25-26页 |
| ·模型的基本方程 | 第26-29页 |
| ·流量Q | 第26-27页 |
| ·压力 | 第27-29页 |
| ·振膜的理论求解 | 第29-34页 |
| ·薄板弯曲的微分方程 | 第29-32页 |
| ·圆形薄板固有频率 | 第32-34页 |
| 3 微泵的结构设计 | 第34-39页 |
| ·微机械结构设计简介 | 第34-35页 |
| ·微泵结构的设计 | 第35-36页 |
| ·微阀门 | 第36-37页 |
| ·微流量传感器的集成 | 第37-39页 |
| 4 压电驱动微泵的有限元分析 | 第39-60页 |
| ·有限元分析概述 | 第39-45页 |
| ·有限元法简介 | 第39-43页 |
| ·ANSYS软件 | 第43-45页 |
| ·微泵膜片的有限元模拟 | 第45-55页 |
| ·对微泵膜片的静力分析 | 第46-51页 |
| ·对微泵膜片动态特性的分析 | 第51-55页 |
| ·微泵流体的有限元分析 | 第55-57页 |
| ·流量分析 | 第56-57页 |
| ·压力分析 | 第57页 |
| ·微泵的电路模拟 | 第57-60页 |
| 5 静电驱动微泵的有限元分析 | 第60-66页 |
| ·序贯耦合解法 | 第60-61页 |
| ·静电驱动微泵的有限元建膜 | 第61-62页 |
| ·分析与讨论 | 第62-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-72页 |
| 附录A PZT-5A材料属性 | 第72-73页 |
| 在学研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
