溶胶—凝胶法制备掺钇氧化锌薄膜及其性能研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第1章 引言 | 第8-22页 |
| ·ZnO的结构、性质及应用 | 第9-13页 |
| ·ZnO的结构 | 第9-10页 |
| ·氧化锌薄膜的性质及应用 | 第10-13页 |
| ·ZnO薄膜的掺杂概况 | 第13-16页 |
| ·ZnO薄膜的n型掺杂 | 第13页 |
| ·ZnO薄膜的p型掺杂 | 第13-14页 |
| ·ZnO薄膜带隙调整掺杂 | 第14-16页 |
| ·ZnO薄膜的制备方法 | 第16-20页 |
| ·溅射 | 第16-17页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第17-18页 |
| ·化学气相沉积法 | 第18-19页 |
| ·喷雾热分解法 | 第19页 |
| ·溶胶-凝胶法(sol-gel) | 第19-20页 |
| ·本课题的研究目的和内容 | 第20-22页 |
| 第2章 YZO薄膜的溶胶-凝胶旋涂法制备及表征 | 第22-29页 |
| ·试剂及仪器设备 | 第22-23页 |
| ·试剂 | 第22页 |
| ·实验器材和设备 | 第22-23页 |
| ·薄膜的制备过程 | 第23-25页 |
| ·溶胶的配置 | 第23页 |
| ·衬底的选择原则和清洗 | 第23页 |
| ·甩膜 | 第23-24页 |
| ·预热处理 | 第24页 |
| ·退火 | 第24-25页 |
| ·薄膜的表征 | 第25-29页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第25页 |
| ·原子力显微镜(AFM) | 第25-26页 |
| ·同步热分析仪 | 第26页 |
| ·nkd-薄膜分析系统 | 第26-27页 |
| ·测量电阻率的四探针法 | 第27-28页 |
| ·测量薄膜厚度的台阶仪法 | 第28-29页 |
| 第3章 YZO薄膜的结构分析和形貌观察 | 第29-40页 |
| ·未掺杂和掺杂溶胶的TG-DTA分析 | 第29-30页 |
| ·YZO薄膜的晶体结构 | 第30-40页 |
| ·陈化时间对YZO薄膜晶体结构和形貌的影响 | 第30-33页 |
| ·掺杂浓度对YZO薄膜晶体结构的影响 | 第33-35页 |
| ·预处理温度对YZO薄膜晶体结构的影响 | 第35-37页 |
| ·退火温度对YZO薄膜晶体结构的影响 | 第37-38页 |
| ·层数对YZO薄膜晶体结构的影响 | 第38-40页 |
| 第4章 YZO薄膜的性能研究 | 第40-50页 |
| ·YZO薄膜的光学性能 | 第40-48页 |
| ·陈化时间对YZO薄膜光学性能的影响 | 第40-42页 |
| ·掺杂浓度对YZO薄膜光学性能的影响 | 第42-43页 |
| ·预处理温度对YZO薄膜光学性能的影响 | 第43-45页 |
| ·退火温度对YZO薄膜光学性能的影响 | 第45-46页 |
| ·层数对YZO薄膜光学性能的影响 | 第46-48页 |
| ·YZO薄膜的电性能 | 第48-50页 |
| 第5章 总结 | 第50-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第58页 |
