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TiO2纳米晶材料的气敏及光敏性能研究

提要第1-10页
第一章 前言第10-28页
   ·纳米材料概述第10-14页
   ·纳米薄膜概述第14-17页
     ·纳米薄膜简介第14页
     ·纳米薄膜的制备方法第14-16页
     ·纳米薄膜的光学性能与气敏特性第16页
     ·纳米薄膜的应用第16-17页
   ·传感器概述第17-18页
   ·半导体气敏传感器简介第18-19页
   ·半导体光敏传感器简介第19-22页
     ·半导体的光电效应第19-21页
     ·紫外光传感器简介第21-22页
   ·半导体氧化物敏感材料TiO_2简介第22-26页
     ·TiO_2的晶体结构和表面状态第22-24页
     ·纳米晶 TiO_2的表面修饰技术第24-25页
     ·纳米 TiO气敏和光敏材料简介第25-26页
   ·研究目的第26-28页
第二章 TiO_2纳米晶材料对三甲基胺(TMA)气敏性能研究第28-52页
   ·纳米晶 TiO_2的制备第28-29页
   ·纳米晶 TiO_2的表征第29-39页
     ·纳米晶TiO_2的差热-热重(DTA—TG)分析第29-31页
     ·纳米晶TiO_2的 X-射线衍射分析(XRD)第31-35页
     ·纳米晶TiO_2的透射电镜分析(TEM)第35-37页
     ·纳米晶TiO_2的 X 射线光电子能谱(XPS)分析..第37-39页
   ·气敏元件制作及待测气体的制备第39-42页
     ·旁热式气敏元件制作工艺第39-40页
     ·三甲胺气体(TMA)的制备第40-42页
   ·元件气敏性能的测试第42-50页
     ·最佳电流的确定第42-43页
     ·元件气敏性能的研究第43-47页
       ·不同晶型二氧化钛的气敏性能第43-45页
       ·不同掺杂物对二氧化钛气敏性能的影响第45-46页
       ·不同的掺杂浓度对气敏性能的影响第46-47页
     ·元件的响应恢复特性第47-48页
     ·元件的稳定性第48-49页
     ·元件的选择性第49-50页
   ·机理探讨第50-51页
     ·导电机理第50页
     ·敏感机理第50-51页
   ·本章小结第51-52页
第三章 TiO_2薄膜的制备及其光敏性能研究第52-70页
   ·TiO_2溶胶及薄膜的制备第53-54页
     ·TiO_2溶胶的制备第53-54页
     ·TiO_2薄膜的制备第54页
       ·基底处理第54页
       ·涂膜方法第54页
   ·TiO_2薄膜制备的择优过程第54-58页
   ·TiO_2薄膜的表征与性能测试第58-69页
     ·TiO_2薄膜的X-射线衍射分析(XRD)第58-62页
     ·TiO_2薄膜厚度测量第62-63页
     ·TiO_2薄膜原子力显微镜分析(AFM)第63-65页
     ·薄膜扫描电镜照片第65-66页
     ·TiO_2薄膜的紫外光谱分析(UV)第66-67页
     ·TiO_2薄膜光电特性的测定第67-69页
   ·本章小结第69-70页
第四章 TiO_2/NiO 复合薄膜的制备及其光敏性能研究第70-89页
   ·纳米 NiO 薄膜的制备及性能研究第70-77页
     ·NiO 概述第70-71页
     ·NiO 溶胶和薄膜的制备第71-72页
       ·NiO 溶胶的制备第71-72页
       ·NiO 薄膜的制备第72页
     ·NiO 薄膜的表征与性能测试第72-77页
       ·前驱粉体的热分析第72-73页
       ·粉末的 X-射线衍射分析第73-75页
       ·NiO 薄膜SEM 照片第75-76页
       ·NiO 薄膜的紫外-可见光谱第76-77页
   ·TiO_2/NiO 复合薄膜的制备及光敏性能研究第77-88页
     ·简介第77-80页
       ·P-N结的形成第77-79页
       ·PN结的单向导电性第79-80页
     ·复合薄膜的制备第80-81页
     ·复合薄膜的表征与测试第81-88页
       ·薄膜的 XRD 谱图第81-82页
       ·复合薄膜的 SEM 照片第82-85页
       ·复合薄膜的 I-V 特性第85-86页
       ·薄膜的紫外光谱第86-87页
       ·薄膜的表面光电压测试第87-88页
   ·本章小结第88-89页
结论第89-92页
参考文献第92-113页
攻读博士期间发表文章第113-115页
致谢第115-116页
摘要第116-120页
Abstract第120-125页

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