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以光辅助MOCVD法生长高质量高温超导体YBa2Cu3O6.9膜的初步研究

提要第1-7页
第一章 绪论第7-28页
   ·高温超导体的发展历程及其应用前景第7-10页
   ·超导特性第10-13页
     ·零电阻效应第10页
     ·迈斯纳效应第10-12页
     ·Ⅰ,Ⅱ类超导体的区分第12-13页
   ·超导理论第13-15页
     ·伦敦方程与BCS 理论第13-14页
     ·关于HTS 的理论第14-15页
   ·高温超导体YBCO 的基本性质第15-16页
     ·YBCO 的晶体结构及电流的方向特性第15-16页
   ·YBCO 膜的制备工艺第16-21页
     ·YBCO 膜的原位生长方法与后处理方法第16-21页
       ·以原位生长方法的制备方法第17-20页
         ·脉冲激光沉积法(PLD)第17-18页
         ·电子束气相沉积第18页
         ·磁控溅射沉积第18-19页
         ·离子束辅助沉积法第19-20页
         ·MOCVD 法第20页
       ·后处理法的生长工艺第20-21页
         ·溶胶-凝胶法第20页
         ·金属有机分解(MOD)第20-21页
   ·YBCO 生长所用的衬底第21-22页
   ·YBCO 的应用研究进展第22-28页
第二章 YBCO 膜生长方法第28-38页
   ·MOCVD 法生长YBCO 超导膜的优势第28页
   ·生长YBCO 膜所用的源材料第28-32页
   ·生长YBCO 膜的PhA-MOCVD 系统第32-36页
     ·气体净化装置第33页
     ·气体输运装置第33-34页
     ·源供给装置第34-35页
     ·反应室装置(附灯的装置)第35页
     ·光辅助技术的作用第35-36页
   ·光辅助MOCVD 系统的其他附属装置第36页
     ·变速旋转基座第36页
     ·温控装置第36页
   ·生长YBCO 时的生长温度及退火温度的选定第36-38页
第三章 超导 YBCO 膜样品的表征方法第38-43页
   ·晶体质量表征第38-41页
     ·X 射线衍射第38-40页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第40-41页
   ·电学特性表征第41-43页
     ·临界转变温度(T_c)第41-42页
     ·临界电流密度(J_c)第42-43页
第四章 高晶体质量 YBCO 薄膜的制备研究第43-68页
   ·引言第43页
   ·生长温度对YBCO 薄膜晶体质量的影响第43-53页
     ·生长温度对YBCO 薄膜晶格取向的影响第44-52页
     ·生长温度对YBCO c 轴取向及膜厚度的影响第52-53页
   ·通过优化生长条件提高YBCO 薄膜的生长速率及厚度第53-62页
     ·源的挥发速率对膜生长速率的影响第54-60页
     ·调节生长压强及流量提高生长速率第60-62页
   ·杂质及衬底晶格平整度对c 轴取向的 YBCO 薄膜晶体质量的影响第62-68页
     ·杂质对YBCO 薄膜晶体质量的影响第63-66页
     ·衬底晶格平整度对YBCO 膜晶体质量的影响第66-68页
第五章 大面积高质量的 YBCO 厚膜第68-74页
   ·引言第68页
   ·一英寸YBCO 厚膜的生长第68-74页
结论第74-76页
参考文献第76-82页
摘要第82-84页
Abstract第84-86页
致谢第86页

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