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高功率半导体激光器腔面镀膜研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-6页
目录第6-8页
第一章 绪论第8-10页
 §1.1 引言第8页
 §1.2 高功率半导体激光器的发展状况第8-9页
 §1.3 论文研究目的和内容第9-10页
第二章 激光器的物理基础及基本结构第10-15页
 §2.1 光的自发发射、受激发射与受激吸收第10页
 §2.2 光的自发发射第10-11页
 §2.3 光的受激发射第11-12页
 §2.4 光的受激吸收第12-13页
 §2.5 爱因斯坦系数关系式第13-15页
第三章 半导体激光器以及其工作原理第15-24页
 §3.1 半导体激光器第15-16页
 §3.2 半导体激光器工作原理第16-18页
 §3.3 半导体内量子跃迁的特点第18页
 §3.4 异质结第18-21页
 §3.5 双异质结半导体功率放大激光器第21-24页
第四章 薄膜技术与膜系设计第24-43页
 §4.1 薄膜的反射和透射第24-31页
     ·单层膜的反射率第26-28页
     ·多层膜的反射率第28-31页
 §4.2 薄膜的吸收和散射第31-32页
 §4.3 增透膜第32-37页
     ·单层增透膜设计第33-36页
     ·双层增透膜设计第36-37页
 §4.4 高反射膜第37-43页
     ·金属膜介绍第37-38页
     ·金高反射膜第38-39页
     ·全介质高反射膜第39页
     ·高反射膜的设计第39-43页
第五章 薄膜工艺第43-50页
 §5.1 设备介绍第43-48页
     ·真空度的介绍第44页
     ·薄膜蒸发技术第44-45页
     ·薄膜厚度的控制第45-48页
 §5.2 半导体激光器腔面镀膜第48-50页
结论第50-51页
致谢第51-52页
参考文献第52-54页

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