| 摘要 | 第1-9页 |
| ABSTRACT | 第9-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-24页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·压电陶瓷 | 第13-17页 |
| ·压电陶瓷的压电效应及其产生机理 | 第13-15页 |
| ·压电陶瓷的典型结构及其主要性能参数 | 第15-17页 |
| ·压电厚膜材料的研究现状 | 第17-19页 |
| ·压电厚膜浆料分散 | 第17-18页 |
| ·压电厚膜基板材料 | 第18页 |
| ·压电厚膜电极材料 | 第18-19页 |
| ·压电厚膜缓冲层材料 | 第19页 |
| ·压电厚膜的制备技术 | 第19-21页 |
| ·丝网印刷技术 | 第20页 |
| ·新型Sol-Gel 技术（粉末-凝胶法） | 第20-21页 |
| ·电泳沉积技术 | 第21页 |
| ·流延制备技术 | 第21页 |
| ·压电厚膜的应用 | 第21-23页 |
| ·压电厚膜频率控制器 | 第22页 |
| ·压电换能器及传感器 | 第22-23页 |
| ·光电器件 | 第23页 |
| ·本课题的研究目的、意义及主要内容 | 第23-24页 |
| 第2章 实验方法及测试手段 | 第24-36页 |
| ·实验原料及仪器设备 | 第24-25页 |
| ·压电厚膜制备工艺 | 第25-28页 |
| ·压电厚膜制备工艺流程图 | 第25页 |
| ·压电厚膜粉体的制备 | 第25-26页 |
| ·压电厚膜浆料的制备 | 第26-28页 |
| ·陶瓷基板的预处理 | 第28页 |
| ·SiO_2 缓冲层提拉烧结 | 第28页 |
| ·厚膜下电极印烧 | 第28页 |
| ·厚膜压电层丝网印刷 | 第28页 |
| ·压电厚膜的排塑 | 第28-30页 |
| ·样品的被银 | 第30-31页 |
| ·银浆的配制 | 第30页 |
| ·银浆的印刷 | 第30-31页 |
| ·银浆的烧成 | 第31页 |
| ·样品极化 | 第31-32页 |
| ·性能测试及仪器装置 | 第32-36页 |
| ·样品密度的测定 | 第32-33页 |
| ·样品物相分析 | 第33页 |
| ·样品形貌分析 | 第33页 |
| ·压电性能测试 | 第33-36页 |
| 第3章 PMS-PNN-PT 压电厚膜材料制备工艺的研究 | 第36-52页 |
| ·PMS-PNN-PT 压电厚膜预烧工艺的确定 | 第36-37页 |
| ·烧结工艺对PMS-PNN-PT 压电厚膜显微结构和电性能影响的研究 | 第37-49页 |
| ·烧结温度对PMS-PNN-PT 压电厚膜显微结构和电性能影响的研究 | 第37-44页 |
| ·保温时间对PMS-PNN-PT 压电厚膜显微结构和电性能影响的研究 | 第44-47页 |
| ·烧结气氛对PMS-PNN-PT 压电厚膜显微结构和电性能影响的研究 | 第47-49页 |
| ·极化工艺对PMS-PNN-PT 压电厚膜电性能影响的研究 | 第49-52页 |
| ·极化场强对PMS-PNN-PT 压电厚膜性能的影响 | 第49-50页 |
| ·极化时间对PMS-PNN-PT 压电厚膜性能的影响 | 第50页 |
| ·极化温度对PMS-PNN-PT 压电厚膜性能的影响 | 第50-52页 |
| 第4章 PMS/PNN 对PMS-PNN-PT 压电厚膜显微结构和电性能影响的研究 | 第52-57页 |
| ·PMS/PNN 对PMS-PNN-PT 压电厚膜相结构的影响 | 第53页 |
| ·PMS/PNN 对PMS-PNN-PT 压电厚膜显微形貌的影响 | 第53-54页 |
| ·PMS/PNN 对PMS-PNN-PT 压电厚膜电性能的影响 | 第54-57页 |
| 第5章 SiO_2缓冲层对PMS-PNN-PT 压电厚膜显微结构和电性能影响的研究 | 第57-63页 |
| ·SiO_2缓冲层对PMS-PNN-PT 压电厚膜显微结构的影响 | 第57-61页 |
| ·SiO_2缓冲层对PMS-PNN-PT 压电厚膜下电极显微形貌的影响 | 第57页 |
| ·SiO_2 缓冲层对 PMS-PNN-PT 压电厚膜断面显微形貌的影响 | 第57-60页 |
| ·SiO_2 缓冲层对 PMS-PNN-PT 压电厚膜压电层显微形貌的影响 | 第60页 |
| ·SiO_2 缓冲层对 PMS-PNN-PT 压电厚膜膜基结合力的影响 | 第60-61页 |
| ·SiO_2 缓冲层对 PMS-PNN-PT 压电厚膜电性能的影响 | 第61-63页 |
| 第6章 结论 | 第63-65页 |
| ·结论 | 第63-64页 |
| ·论文创新点 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第73页 |
