三维微细电火花加工平台的设计与实验研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第一章 概述 | 第10-25页 |
| ·制造技术的发展 | 第10-17页 |
| ·现代制造技术的发展方向 | 第10-15页 |
| ·精密制造技术的发展 | 第15-16页 |
| ·精密制造技术的应用 | 第16-17页 |
| ·精密制造中的关键技术 | 第17-21页 |
| ·超精密定位技术 | 第17-19页 |
| ·超精密位移机构 | 第19页 |
| ·精密位置检测技术 | 第19-21页 |
| ·二级定位技术 | 第21页 |
| ·误差补偿技术 | 第21页 |
| ·国内外的研究进展 | 第21-23页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 三维精密运动平台的设计 | 第25-41页 |
| ·运动平台的结构确定 | 第25-29页 |
| ·运动平台的工作要求 | 第25-26页 |
| ·常见的运动平台结构 | 第26页 |
| ·常用的三维运动平台结构方案 | 第26-27页 |
| ·选定的三维运动平台传动方案 | 第27-29页 |
| ·本课题的平台系统结构 | 第29页 |
| ·平台总体结构设计 | 第29-32页 |
| ·结构布局 | 第29页 |
| ·传动系统 | 第29-31页 |
| ·反馈系统 | 第31-32页 |
| ·系统模块通信 | 第32页 |
| ·运动平台机架的设计与分析 | 第32-36页 |
| ·机架的设计 | 第32-34页 |
| ·动态特性分析 | 第34-36页 |
| ·提高平台精度的方法 | 第36-37页 |
| ·数控系统的选择 | 第37-40页 |
| ·二级传动控制 | 第38-39页 |
| ·平行结构控制 | 第39-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第三章 运动平台的空间误差分析与补偿 | 第41-61页 |
| ·运动平台的空间误差组成 | 第41-45页 |
| ·几何误差 | 第41-44页 |
| ·热变形误差 | 第44-45页 |
| ·载荷误差 | 第45页 |
| ·非线性误差 | 第45页 |
| ·基本运动的误差补偿 | 第45-47页 |
| ·三维超精密运动平台误差模型 | 第47-56页 |
| ·三维超精密运动平台误差模型的特点和模型建立方法 | 第47-48页 |
| ·误差矩阵法建立误差模型 | 第48-52页 |
| ·考虑不同轴误差后模型的改进 | 第52-54页 |
| ·三维超精密运动平台误差测量方案 | 第54-56页 |
| ·三维超精密运动平台误差辨识 | 第56-57页 |
| ·三维超精密运动平台误差辨识方法 | 第56页 |
| ·三维超精密运动平台误差辨识方案设计 | 第56-57页 |
| ·三维超精密运动平台误差初步补偿可行性分析 | 第57-59页 |
| ·误差补偿方法 | 第57-58页 |
| ·平台误差补偿方案 | 第58-59页 |
| ·小结 | 第59-61页 |
| 第四章 工艺性能实验 | 第61-76页 |
| ·极微细电火花加工实验系统的组成 | 第61-62页 |
| ·极微细电火花加工用脉冲电源 | 第62-64页 |
| ·自振式晶体管脉冲电源 | 第62-63页 |
| ·等脉宽晶体管脉冲电源 | 第63-64页 |
| ·XY平台性能实验 | 第64-67页 |
| ·运动系统单轴基本运动 | 第64-65页 |
| ·负载对平台的影响 | 第65-67页 |
| 图4.13轴空载速度为20mm/s的位移曲线。 | 第67页 |
| ·主动隔振平台测试 | 第67-72页 |
| ·测试系统组成 | 第67-68页 |
| ·测试结果 | 第68-72页 |
| ·试验法模态分析 | 第72-73页 |
| ·模态试验结果 | 第72-73页 |
| ·试验法与有限元法模态分析结果比较 | 第73页 |
| ·极微细电火花加工系统的加工实验 | 第73-75页 |
| ·加工实验 | 第73-75页 |
| ·小结 | 第75-76页 |
| 结论与展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第83页 |
