石墨微结构磁电效应及甚小电阻信号读取
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| ·研究背景 | 第7-9页 |
| ·国内外发展状况 | 第9-10页 |
| ·本文主要研究内容 | 第10-12页 |
| 2 面向MEMS技术的石墨概述 | 第12-23页 |
| ·MEMS技术及其传感器 | 第12-13页 |
| ·石墨性能及其在MEMS的潜在应用简介 | 第13-22页 |
| ·MEMS用石墨简介 | 第13-14页 |
| ·石墨的电子结构 | 第14-16页 |
| ·石墨特性的初步理论计算 | 第16-19页 |
| ·MEMS用石墨的特殊性能及其器件 | 第19-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 MEMS用石墨的制备工艺 | 第23-32页 |
| ·MEMS用石墨的制备工艺简介 | 第23-29页 |
| ·氧化硅摩擦法 | 第23-24页 |
| ·高精度AFM法 | 第24-25页 |
| ·纳米模印法 | 第25-27页 |
| ·热分解法 | 第27-29页 |
| ·实验中石墨样片的制作 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 4 石墨MEMS微结构及新观点验证 | 第32-49页 |
| ·石墨样片的电阻测量 | 第32-38页 |
| ·甚小电阻测量简介 | 第32-33页 |
| ·常规四探针法 | 第33-37页 |
| ·石墨样片电阻测试结果及分析 | 第37-38页 |
| ·石墨MEMS微结构及霍尔效应 | 第38-45页 |
| ·石墨MEMS微结构的设计原理 | 第38-41页 |
| ·石墨MEMS微结构实验结果及讨论 | 第41-43页 |
| ·石墨的霍尔效应 | 第43-45页 |
| ·石墨电阻率与真空度之间的关系 | 第45-48页 |
| ·数值模拟观点简介 | 第45页 |
| ·实验测量过程 | 第45-47页 |
| ·结果与分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 5 甚小电阻测量仪 | 第49-59页 |
| ·测试系统的原理 | 第49-50页 |
| ·硬件部分 | 第50-55页 |
| ·微处理器 | 第50页 |
| ·恒流源 | 第50-52页 |
| ·数模转换 | 第52-53页 |
| ·模拟通道电路 | 第53-55页 |
| ·串行接口电路 | 第55页 |
| ·软件部分 | 第55-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 总结和展望 | 第59-61页 |
| ·论文工作总结 | 第59页 |
| ·今后的工作及研究展望 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
