基于千兆赫兹体声波谐振器的生物微阵列制造方法研究
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 微阵列技术简介 | 第9-10页 |
| 1.2 微阵列制造方法 | 第10-17页 |
| 1.2.1 针尖打印技术 | 第11-13页 |
| 1.2.2 微印章技术 | 第13-14页 |
| 1.2.3 电喷墨印刷 | 第14-16页 |
| 1.2.4 光刻法 | 第16-17页 |
| 1.3 基于声学的液体分配技术 | 第17-18页 |
| 1.3.1 基于声学的液体分配技术的发展历史 | 第17页 |
| 1.3.2 基于声学的液体分配技术的现状 | 第17-18页 |
| 1.4 本课题的意义及研究内容 | 第18-21页 |
| 1.4.1 本课题的意义 | 第18-19页 |
| 1.4.2 本课题的研究内容 | 第19-21页 |
| 第2章 薄膜体声波谐振器 | 第21-37页 |
| 2.1 薄膜体声波谐振器的工作原理 | 第21-24页 |
| 2.2 薄膜体声波谐振器的等效电路 | 第24-26页 |
| 2.3 薄膜体声波谐振器的主要类型 | 第26-28页 |
| 2.4 SMR的设计 | 第28-31页 |
| 2.4.1 压电材料的选择 | 第28-29页 |
| 2.4.2 电极材料的选择 | 第29-30页 |
| 2.4.3 布拉格反射层的设计 | 第30-31页 |
| 2.5 SMR的版图设计 | 第31页 |
| 2.6 SMR的加工 | 第31-34页 |
| 2.7 SMR的测试 | 第34-37页 |
| 第3章 SMR驱动下流体的行为 | 第37-47页 |
| 3.1 SMR振动的建模仿真 | 第37-42页 |
| 3.1.1 几何建模 | 第38-39页 |
| 3.1.2 物理建模 | 第39页 |
| 3.1.3 网格划分 | 第39-40页 |
| 3.1.4 计算求解 | 第40-41页 |
| 3.1.5 后处理 | 第41-42页 |
| 3.2 声流体效应 | 第42-43页 |
| 3.2.1 Navier-Stokes方程 | 第42页 |
| 3.2.2 SMR驱动下的声流体现象 | 第42-43页 |
| 3.3 SMR驱动下液体液面的行为 | 第43-47页 |
| 3.3.1 体积力 | 第43-44页 |
| 3.3.2 液体尖峰 | 第44-45页 |
| 3.3.3 液体喷射 | 第45-47页 |
| 第4章 硬件系统搭建与软件系统设计 | 第47-55页 |
| 4.1 硬件系统的搭建 | 第47-50页 |
| 4.1.1 系统总体设计 | 第47-48页 |
| 4.1.2 打印头 | 第48-49页 |
| 4.1.3 系统搭建 | 第49-50页 |
| 4.2 软件系统的设计 | 第50-55页 |
| 4.2.1 信号发生器的编程控制 | 第51页 |
| 4.2.2 精密三维位移台的编程控制 | 第51-52页 |
| 4.2.3 微阵列的制造 | 第52-55页 |
| 第5章 DNA与蛋白微阵列的制造 | 第55-61页 |
| 5.1 试剂与材料 | 第55页 |
| 5.2 基底的选择及表面修饰 | 第55-56页 |
| 5.3 液体分配 | 第56-59页 |
| 5.3.1 液体分配过程 | 第56-58页 |
| 5.3.2 液滴大小的控制 | 第58-59页 |
| 5.4 DNA与蛋白微阵列的制造 | 第59-61页 |
| 5.4.1 温度测量 | 第59页 |
| 5.4.2 DNA与蛋白微阵列结果分析 | 第59-61页 |
| 第6章 柔性基底上的微阵列制造及复制 | 第61-65页 |
| 6.1 基底的选择及表面修饰 | 第61-62页 |
| 6.2 微阵列的复制 | 第62-63页 |
| 6.3 大规模微阵列和任意图案的制造 | 第63-65页 |
| 第7章 总结与展望 | 第65-67页 |
| 7.1 论文主要研究内容与成果 | 第65页 |
| 7.2 论文的创新点 | 第65页 |
| 7.3 未来工作的展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-75页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77页 |
