| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 引言 | 第16-34页 |
| 1.1 研究背景 | 第16-17页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第17-33页 |
| 1.2.1 零位干涉检测技术 | 第17-19页 |
| 1.2.2 平面绝对检测技术 | 第19-27页 |
| 1.2.3 球面及其他光学面形绝对检测技术 | 第27-32页 |
| 1.2.4 研究现状小结 | 第32-33页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第33-34页 |
| 2 共轭差分面形绝对检测理论 | 第34-52页 |
| 2.1 共轭差分干涉绝对检测原理 | 第34-37页 |
| 2.2 共轭差分波面复原方法 | 第37-46页 |
| 2.2.1 离散Fourier变换法 | 第38-40页 |
| 2.2.2 差分Zernike多项式拟合法 | 第40-42页 |
| 2.2.3 区域结构斜率法 | 第42-46页 |
| 2.3 共轭差分绝对检测法仿真与比较 | 第46-51页 |
| 2.3.1 共轭差分法波面复原 | 第46-49页 |
| 2.3.2 共轭差分法与差分法波面复原比较 | 第49-51页 |
| 2.4 小结 | 第51-52页 |
| 3 共轭差分平面绝对检测关键技术研究 | 第52-68页 |
| 3.1 共轭差分平面绝对检测关键问题 | 第52-58页 |
| 3.1.1 复原算法适应性 | 第52-53页 |
| 3.1.2 剪切量与空间分辨率适应性 | 第53-55页 |
| 3.1.3 待测面表面特征适应性 | 第55-58页 |
| 3.2 共轭差分平面绝对检测误差分析 | 第58-64页 |
| 3.2.1 单次干涉测量误差因素影响 | 第58-61页 |
| 3.2.2 位置不确定度误差因素影响 | 第61-64页 |
| 3.3 共轭差分平面绝对面形测量实验与误差分析 | 第64-67页 |
| 3.4 小结 | 第67-68页 |
| 4 共轭差分非球面绝对检测中CGH零位补偿波前变换技术 | 第68-97页 |
| 4.1 非球面面形共轭差分绝对检测技术 | 第68-71页 |
| 4.1.1 共轭差分法适用面形 | 第68-70页 |
| 4.1.2 CGH零位补偿波前变换原理 | 第70-71页 |
| 4.2 CGH数学模型及理论分析 | 第71-76页 |
| 4.2.1 CGH主要类型 | 第71-73页 |
| 4.2.2 CGH标量衍射理论 | 第73-74页 |
| 4.2.3 CGH主要参数 | 第74-76页 |
| 4.3 CGH的设计与加工 | 第76-88页 |
| 4.3.1 CGH设计结构模型 | 第76-79页 |
| 4.3.2 CGH补偿相位计算 | 第79-85页 |
| 4.3.3 CGH零位干涉检测仿真 | 第85-86页 |
| 4.3.4 CGH辅助装调设计 | 第86-88页 |
| 4.4 基于CGH波前变换的光学自由曲面零位干涉测试及误差分析 | 第88-96页 |
| 4.4.1 基于CGH的光学自由曲面零位干涉测试 | 第88-92页 |
| 4.4.2 CGH光学自由曲面干涉检测误差分析 | 第92-96页 |
| 4.5 小结 | 第96-97页 |
| 5 基于CGH零位补偿的共轭差分柱面绝对检测技术 | 第97-126页 |
| 5.1 共轭差分柱面绝对检测技术基本原理 | 第97-98页 |
| 5.1.1 柱面光学元件特征 | 第97-98页 |
| 5.1.2 共轭差分柱面绝对检测技术原理 | 第98页 |
| 5.2 基于CGH的柱面零位干涉测试技术 | 第98-103页 |
| 5.2.1 柱面零位干涉测试CGH的设计与加工 | 第98-101页 |
| 5.2.2 基于CGH的柱面零位干涉检测实验 | 第101-103页 |
| 5.3 柱面零位干涉测试装调技术 | 第103-121页 |
| 5.3.1 柱面元件调整自由度 | 第104-106页 |
| 5.3.2 Chebyshev多项式波前拟合 | 第106-108页 |
| 5.3.3 柱面调整误差数学模型 | 第108-117页 |
| 5.3.4 柱面调整误差校正方法理论分析 | 第117-121页 |
| 5.4 共轭差分柱面面形绝对检测实验及结果比对 | 第121-125页 |
| 5.4.1 共轭差分柱面面形绝对检测实验 | 第121-124页 |
| 5.4.2 共轭差分柱面面形绝对检测实验结果比对 | 第124-125页 |
| 5.5 小结 | 第125-126页 |
| 6 总结与展望 | 第126-129页 |
| 6.1 总结 | 第126-127页 |
| 6.2 主要创新点 | 第127页 |
| 6.3 展望 | 第127-129页 |
| 致谢 | 第129-130页 |
| 参考文献 | 第130-141页 |
| 附录A | 第141-143页 |
| 附录B | 第143-144页 |