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大范围白光干涉微结构表面测量关键技术与系统研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-22页
    1.1 课题来源第10页
    1.2 研究目的和意义第10-12页
    1.3 国内外研究现状第12-20页
    1.4 论文的研究内容第20-22页
第二章 连续扫描动态曝光积分采样白光干涉表面测量方法第22-44页
    2.1 引言第22页
    2.2 连续驱动扫描与计量外触发图像采集的高速测量模式第22-26页
    2.3 动态曝光积分的白光干涉采样信号模型第26-43页
    2.4 本章小结第43-44页
第三章 干涉信号包络匹配和相位判定表面恢复算法第44-63页
    3.1 引言第44页
    3.2 白光干涉表面形貌恢复原理第44-46页
    3.3 低相干白光干涉信号的希尔伯特变换相位求解第46-48页
    3.4 基于包络相关性匹配和相位判定的形貌恢复算法第48-56页
    3.5 仿真比对实验第56-59页
    3.6 实际测量实验第59-62页
    3.7 本章小结第62-63页
第四章 基于干涉质量评价的微结构三维图像拼接方法第63-81页
    4.1 引言第63页
    4.2 干涉质量评价模型第63-65页
    4.3 基于干涉质量评价模型的三维图像拼接第65-75页
    4.4 实验测试第75-80页
    4.5 本章小结第80-81页
第五章 最大信息熵结构表面特征提取方法第81-99页
    5.1 引言第81-82页
    5.2 基于干涉质量评价模型的有效测量点提取和分类第82-84页
    5.3 基于最大信息熵原理的自动特征提取第84-95页
    5.4 基于特征自动提取的微结构评定实例第95-98页
    5.5 本章小结第98-99页
第六章 系统建立及测试实验第99-124页
    6.1 引言第99页
    6.2 仪器架构第99-100页
    6.3 测控系统第100页
    6.4 软件系统第100-110页
    6.5 测试和应用第110-123页
    6.6 本章小结第123-124页
第七章 全文总结和展望第124-127页
    7.1 全文总结第124-125页
    7.2 论文创新点第125页
    7.3 研究展望第125-127页
致谢第127-129页
参考文献第129-141页
附录1:攻读博士期间成果第141-144页

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