摘要 | 第4-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第10-22页 |
1.1 课题来源 | 第10页 |
1.2 研究目的和意义 | 第10-12页 |
1.3 国内外研究现状 | 第12-20页 |
1.4 论文的研究内容 | 第20-22页 |
第二章 连续扫描动态曝光积分采样白光干涉表面测量方法 | 第22-44页 |
2.1 引言 | 第22页 |
2.2 连续驱动扫描与计量外触发图像采集的高速测量模式 | 第22-26页 |
2.3 动态曝光积分的白光干涉采样信号模型 | 第26-43页 |
2.4 本章小结 | 第43-44页 |
第三章 干涉信号包络匹配和相位判定表面恢复算法 | 第44-63页 |
3.1 引言 | 第44页 |
3.2 白光干涉表面形貌恢复原理 | 第44-46页 |
3.3 低相干白光干涉信号的希尔伯特变换相位求解 | 第46-48页 |
3.4 基于包络相关性匹配和相位判定的形貌恢复算法 | 第48-56页 |
3.5 仿真比对实验 | 第56-59页 |
3.6 实际测量实验 | 第59-62页 |
3.7 本章小结 | 第62-63页 |
第四章 基于干涉质量评价的微结构三维图像拼接方法 | 第63-81页 |
4.1 引言 | 第63页 |
4.2 干涉质量评价模型 | 第63-65页 |
4.3 基于干涉质量评价模型的三维图像拼接 | 第65-75页 |
4.4 实验测试 | 第75-80页 |
4.5 本章小结 | 第80-81页 |
第五章 最大信息熵结构表面特征提取方法 | 第81-99页 |
5.1 引言 | 第81-82页 |
5.2 基于干涉质量评价模型的有效测量点提取和分类 | 第82-84页 |
5.3 基于最大信息熵原理的自动特征提取 | 第84-95页 |
5.4 基于特征自动提取的微结构评定实例 | 第95-98页 |
5.5 本章小结 | 第98-99页 |
第六章 系统建立及测试实验 | 第99-124页 |
6.1 引言 | 第99页 |
6.2 仪器架构 | 第99-100页 |
6.3 测控系统 | 第100页 |
6.4 软件系统 | 第100-110页 |
6.5 测试和应用 | 第110-123页 |
6.6 本章小结 | 第123-124页 |
第七章 全文总结和展望 | 第124-127页 |
7.1 全文总结 | 第124-125页 |
7.2 论文创新点 | 第125页 |
7.3 研究展望 | 第125-127页 |
致谢 | 第127-129页 |
参考文献 | 第129-141页 |
附录1:攻读博士期间成果 | 第141-144页 |