| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题提出的背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2.1 压电陶瓷驱动的微定位系统研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 压电驱动控制算法研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.3 快速控制反射镜发展现状 | 第15-16页 |
| 1.3 课题研究的主要内容 | 第16-18页 |
| 第二章 激光光路高精度调节系统的方案设计 | 第18-32页 |
| 2.1 前言 | 第18-19页 |
| 2.2 柔性铰链概述 | 第19-22页 |
| 2.2.1 柔性铰链的分类及机械性能 | 第19-20页 |
| 2.2.2 直圆型柔性铰链的设计计算 | 第20-22页 |
| 2.3 柔性激光反射镜架的方案设计 | 第22-27页 |
| 2.3.1 柔性激光反射镜架的结构设计 | 第22-23页 |
| 2.3.2 柔性铰链及支撑部件的材料选取 | 第23-24页 |
| 2.3.3 柔性铰链设计分析及参数确定 | 第24-27页 |
| 2.4 压电驱动原理与驱动器选型 | 第27-30页 |
| 2.4.1 压电驱动典型结构原理分析 | 第27-29页 |
| 2.4.2 压电陶瓷电机选型 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 伪刚体模型及有限元仿真分析 | 第32-44页 |
| 3.1 前言 | 第32页 |
| 3.2 柔性激光反射镜架伪刚体模型分析 | 第32-36页 |
| 3.2.1 角位移柔性铰链结构伪刚体模型 | 第33-35页 |
| 3.2.2 双平行四边形柔性铰链结构伪刚体模型 | 第35-36页 |
| 3.3 柔性激光反射镜架有限元仿真分析 | 第36-42页 |
| 3.3.1 有限元分析概述 | 第36-37页 |
| 3.3.2 有限元分析过程与结果 | 第37-42页 |
| 3.4 伪刚体模型验证 | 第42-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 镜架的定位精度分析与误差分析 | 第44-50页 |
| 4.1 前言 | 第44页 |
| 4.2 压电陶瓷电机的非线性误差 | 第44-45页 |
| 4.2.1 迟滞特性 | 第44-45页 |
| 4.2.2 蠕变特性 | 第45页 |
| 4.3 柔性铰链的加工误差 | 第45-48页 |
| 4.4 重力对转动镜架的影响 | 第48-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 激光光路高精度调节系统控制系统的设计与实验分析 | 第50-66页 |
| 5.1 前言 | 第50页 |
| 5.2 激光光路调节控制系统组成 | 第50-53页 |
| 5.2.1 控制系统调节流程 | 第50-52页 |
| 5.2.2 控制系统的硬件组成 | 第52-53页 |
| 5.2.3 闭环控制系统的构建 | 第53页 |
| 5.3 控制算法概述 | 第53-58页 |
| 5.3.1 PID控制算法基本原理 | 第54-55页 |
| 5.3.2 模糊控制基本原理 | 第55页 |
| 5.3.3 模糊自整定PID控制 | 第55-58页 |
| 5.4 控制系统仿真 | 第58-61页 |
| 5.4.1 建立传递函数 | 第58-60页 |
| 5.4.2 Simulink仿真 | 第60-61页 |
| 5.5 实验验证与数据分析 | 第61-64页 |
| 5.6 本章小结 | 第64-66页 |
| 第六章 结论 | 第66-68页 |
| 6.1 结论 | 第66页 |
| 6.2 展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74页 |