| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 课题的来源、背景及其意义 | 第10-11页 |
| 1.2 基于多层膜的传感器研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 国内研究现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3 基于等离子共振的传感器研究现状 | 第14-18页 |
| 1.3.1 等离子共振传感器的国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3.2 等离子共振传感器的国外研究现状 | 第15-18页 |
| 1.4 本论文主要研究工作 | 第18-20页 |
| 第2章 多层膜和金光栅结构的设计与模拟 | 第20-31页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 TiO_2/SiO_2多层膜的设计 | 第20-22页 |
| 2.3 TiO_2/SiO_2多层膜的模拟 | 第22-23页 |
| 2.4 TiO_2/SiO_2多层膜加金光栅的模拟 | 第23-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 多层膜及金光栅结构的制备与光谱测量 | 第31-46页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 多层膜的制备 | 第31-34页 |
| 3.3 基于多层膜金光栅结构的制备 | 第34-36页 |
| 3.3.1 样品的准备 | 第34-35页 |
| 3.3.2 电子束曝光 | 第35页 |
| 3.3.3 镀膜及剥离 | 第35-36页 |
| 3.4 多层膜及金光栅结构的光谱测量 | 第36-44页 |
| 3.4.1 测量光路的搭建 | 第36-39页 |
| 3.4.2 多层膜的光谱测量 | 第39-41页 |
| 3.4.3 基于多层膜的金光栅光谱测量 | 第41-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 光栅侧壁结构的设计与模拟 | 第46-63页 |
| 4.1 引言 | 第46页 |
| 4.2 等离子激元的介绍 | 第46-50页 |
| 4.2.1 表面等离子激元(SPP) | 第47-49页 |
| 4.2.2 局域表面等离子激元(LSPP) | 第49-50页 |
| 4.3 光栅不带侧壁的模拟 | 第50-53页 |
| 4.4 光栅带侧壁的模拟 | 第53-61页 |
| 4.4.1 光栅结构尺寸与入射角度的分析 | 第55-57页 |
| 4.4.2 光栅银侧壁中暗模式的分析 | 第57-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第5章 光栅侧壁结构的制备与光谱测量 | 第63-83页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 PMMA光栅侧壁结构的制备 | 第63-67页 |
| 5.2.1 验证镀膜工艺的光栅侧壁结构制备 | 第63-65页 |
| 5.2.2 按照模拟尺寸的光栅侧壁结构制备 | 第65-67页 |
| 5.3 不带银侧壁PMMA光栅的光谱测量 | 第67-70页 |
| 5.3.1 空气中的光谱测量 | 第67-68页 |
| 5.3.2 不同折射率溶液中的光谱测量 | 第68-70页 |
| 5.4 带银侧壁PMMA光栅的光谱测量 | 第70-73页 |
| 5.4.1 空气中的光谱测量 | 第70-71页 |
| 5.4.2 不同折射率溶液中的光谱测量 | 第71-73页 |
| 5.5 微流通道的制备 | 第73-79页 |
| 5.5.1 制备使用的材料 | 第73-74页 |
| 5.5.2 硅片的准备 | 第74-75页 |
| 5.5.3 滴胶与固化 | 第75页 |
| 5.5.4 紫外曝光 | 第75页 |
| 5.5.5 后烘及显影 | 第75-76页 |
| 5.5.6 PDMS的倒模 | 第76-78页 |
| 5.5.7 微流通道的封装 | 第78-79页 |
| 5.6 两种结构的生物分子探测 | 第79-82页 |
| 5.6.1 不带银侧壁PMMA光栅的生物分子探测 | 第80-81页 |
| 5.6.2 带银侧壁PMMA光栅的生物分子探测 | 第81-82页 |
| 5.7 本章小结 | 第82-83页 |
| 结论 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 攻读学位期间所获得的研究成果 | 第89-91页 |
| 致谢 | 第91页 |