高纯钽板冷轧及退火过程中微结构演变规律的研究
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-28页 |
| 1.1 引言 | 第8-10页 |
| 1.2 钽的结构性能及应用 | 第10-12页 |
| 1.2.1 钽的结构与性能 | 第10页 |
| 1.2.2 集成电路用高纯钽溅射靶材 | 第10-12页 |
| 1.3 钽的研究现状 | 第12-20页 |
| 1.3.1 钽的塑性变形 | 第12-15页 |
| 1.3.2 钽板的轧制织构 | 第15-18页 |
| 1.3.3 钽板的再结晶织构 | 第18-20页 |
| 1.4 再结晶的驱动力-储存能 | 第20-25页 |
| 1.4.1 储存能的测试方法 | 第22-24页 |
| 1.4.2 储存能的取向依赖性 | 第24-25页 |
| 1.5 课题的研究意义及内容 | 第25-28页 |
| 1.5.1 研究意义 | 第25-26页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第26-28页 |
| 2 实验材料及方法 | 第28-34页 |
| 2.1 实验材料及加工方法 | 第28-30页 |
| 2.1.1 实验材料 | 第28页 |
| 2.1.2 加工方法 | 第28-30页 |
| 2.2 退火制度 | 第30页 |
| 2.3 研究方法 | 第30-33页 |
| 2.3.1 微观组织与显微硬度 | 第31页 |
| 2.3.2 X射线衍射（XRD） | 第31-32页 |
| 2.3.3 电子背散射衍射（EBSD） | 第32页 |
| 2.3.4 差示扫描量热法（DSC） | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 3 周向轧制高纯钽板的微结构演变 | 第34-48页 |
| 3.1 变形前钽板微观组织 | 第34-35页 |
| 3.2 钽板的形变微结构与织构 | 第35-41页 |
| 3.2.1 冷轧钽板的微结构 | 第35-36页 |
| 3.2.2 冷轧钽板的织构演变 | 第36-38页 |
| 3.2.3 冷轧钽板的织构梯度 | 第38-41页 |
| 3.3 冷轧钽板的亚显微结构 | 第41-45页 |
| 3.3.1 抛光方法的选取 | 第41-43页 |
| 3.3.2 冷轧钽板的亚结构 | 第43-45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-48页 |
| 4 退火过程中冷轧钽板的微结构与织构演变 | 第48-66页 |
| 4.1 退火态钽板的微结构演变 | 第48-54页 |
| 4.1.1 不同温度下钽板微结构的演变 | 第48-51页 |
| 4.1.2 不同保温时间钽板微结构的演变 | 第51-54页 |
| 4.2 冷轧钽板的退火织构 | 第54-62页 |
| 4.2.1 变形态钽板的织构 | 第54-55页 |
| 4.2.2 退火态钽板的硬度变化 | 第55-56页 |
| 4.2.3 退火态钽板的织构演变 | 第56-62页 |
| 4.3 冷轧钽板的储存能 | 第62-65页 |
| 4.3.1 宏观储存能 | 第62-63页 |
| 4.3.2 微观储存能 | 第63-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 5 结论 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-78页 |
| 附录 | 第78页 |
