| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第16-34页 |
| 1.1 课题来源 | 第16页 |
| 1.2 课题的研究意义 | 第16-23页 |
| 1.2.1 高品级人造单晶金刚石 | 第16-19页 |
| 1.2.2 HPHT 金刚石微粉 | 第19-21页 |
| 1.2.3 CVD 金刚石单晶微粉 | 第21-23页 |
| 1.3 国内外研究现状综述 | 第23-30页 |
| 1.3.1 CVD 金刚石单晶颗粒的制备及表征 | 第23-28页 |
| 1.3.2 HFCVD 法沉积金刚石物理场的仿真计算 | 第28-30页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第30-34页 |
| 第二章 HFCVD 法沉积金刚石单晶颗粒物理场的仿真优化 | 第34-54页 |
| 2.1 引言 | 第34页 |
| 2.2 热丝化学气相沉积法 | 第34-38页 |
| 2.2.1 热丝化学气相沉积法概述 | 第34-36页 |
| 2.2.2 HFCVD 系统沉积金刚石单晶颗粒物理场的条件 | 第36-38页 |
| 2.3 HFCVD 合成金刚石单晶颗粒物理场的仿真及其影响因素的优化 | 第38-53页 |
| 2.3.1 仿真建模及方法 | 第38-43页 |
| 2.3.2 影响物理场均匀性工艺参数的分析及优化 | 第43-50页 |
| 2.3.3 仿真优化结果的验证 | 第50-53页 |
| 2.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第三章 HFCVD 法制备有籽晶金刚石单晶颗粒的机理研究 | 第54-82页 |
| 3.1 引言 | 第54页 |
| 3.2 HFCVD 法制备有籽晶金刚石单晶颗粒的技术基础概述 | 第54-61页 |
| 3.2.1 HFCVD 法制备有籽晶金刚石薄膜的方法概述 | 第54-55页 |
| 3.2.2 HFCVD 法制备有籽晶金刚石单晶颗粒的生长原理 | 第55-60页 |
| 3.2.3 HFCVD 法制备有籽晶金刚石单晶颗粒的方法概述 | 第60-61页 |
| 3.3 新型基体播种籽晶工艺 | 第61-65页 |
| 3.4 CVD 有籽晶金刚石单晶颗粒的制备实验 | 第65-66页 |
| 3.5 沉积参数对 CVD 有籽晶金刚石单晶颗粒生长特性的影响 | 第66-78页 |
| 3.5.1 反应压力对 CVD 有籽晶金刚石单晶颗粒生长特性的影响 | 第66-70页 |
| 3.5.2 衬底温度对 CVD 有籽晶金刚石单晶颗粒生长特性的影响 | 第70-73页 |
| 3.5.3 碳源浓度对 CVD 有籽晶金刚石单晶颗粒生长特性的影响 | 第73-76页 |
| 3.5.4 偏流强度对 CVD 金刚石单晶颗粒生长特性的影响 | 第76-78页 |
| 3.6 CVD 有籽晶金刚石单晶颗粒的优化沉积工艺 | 第78-80页 |
| 3.7 本章小结 | 第80-82页 |
| 第四章 HFCVD 法制备无籽晶金刚石单晶颗粒的机理研究 | 第82-104页 |
| 4.1 引言 | 第82-83页 |
| 4.2 HFCVD 法制备无籽晶金刚石单晶颗粒的技术基础概述 | 第83-85页 |
| 4.2.1 HFCVD 法制备无籽晶金刚石薄膜的方法概述 | 第83页 |
| 4.2.2 HFCVD 法制备无籽晶金刚石单晶颗粒的生长原理 | 第83-85页 |
| 4.2.3 HFCVD 法制备无籽晶金刚石单晶颗粒的方法概述 | 第85页 |
| 4.3 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒的制备实验 | 第85-87页 |
| 4.4 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒形核工艺的优化研究 | 第87-92页 |
| 4.4.1 衬底预处理方法的优化研究 | 第87-89页 |
| 4.4.2 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒形核工艺的优化研究 | 第89-92页 |
| 4.5 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒生长工艺的优化研究 | 第92-101页 |
| 4.5.1 基于低压形核的 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒生长工艺的优化研究 | 第93-97页 |
| 4.5.2 基于高压形核的 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒生长工艺的优化研究 | 第97-101页 |
| 4.6 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒的优化沉积工艺 | 第101-102页 |
| 4.7 本章小结 | 第102-104页 |
| 第五章 掺硼工艺对 CVD 金刚石单晶颗粒合成影响的研究 | 第104-122页 |
| 5.1 引言 | 第104-105页 |
| 5.2 掺硼工艺对 CVD 有籽晶金刚石单晶颗粒合成影响的研究 | 第105-116页 |
| 5.2.1 硼掺杂 CVD 有籽晶金刚石单晶颗粒的制备实验 | 第105-106页 |
| 5.2.2 掺硼浓度对 CVD 有籽晶金刚石单晶颗粒生长特性的影响 | 第106-116页 |
| 5.3 掺硼工艺对 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒合成影响的研究 | 第116-120页 |
| 5.3.1 硼掺杂 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒的制备实验 | 第116页 |
| 5.3.2 掺硼浓度对 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒形核特性的影响 | 第116-118页 |
| 5.3.3 掺硼浓度对 CVD 无籽晶金刚石单晶颗粒生长特性的影响 | 第118-120页 |
| 5.4 本章小结 | 第120-122页 |
| 第六章 CVD 金刚石单晶微粉的制备及质量评价 | 第122-136页 |
| 6.1 引言 | 第122页 |
| 6.2 CVD 金刚石单晶微粉的制备工艺 | 第122-125页 |
| 6.2.1 CVD 有籽晶金刚石单晶微粉的制备工艺 | 第122-123页 |
| 6.2.2 CVD 无籽晶金刚石单晶微粉的制备工艺 | 第123-124页 |
| 6.2.3 CVD 金刚石单晶微粉的收集与提纯工艺 | 第124-125页 |
| 6.3 高品级金刚石单晶微粉的质量评价指标 | 第125-127页 |
| 6.4 CVD 有籽晶金刚石单晶微粉的质量评价 | 第127-132页 |
| 6.5 CVD 无籽晶金刚石单晶微粉的质量评价 | 第132-135页 |
| 6.6 本章小结 | 第135-136页 |
| 第七章 总结与展望 | 第136-142页 |
| 7.1 本文完成的主要研究工作和结论 | 第136-140页 |
| 7.2 本文主要创新点 | 第140-141页 |
| 7.3 下一步研究工作 | 第141-142页 |
| 参考文献 | 第142-152页 |
| 攻读博士学位期间公开发表的论文 | 第152-154页 |
| 攻读博士学位期间获得的奖励 | 第154-156页 |
| 致谢 | 第156页 |
