超声研磨恒流电源系统关键技术的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 缩略词 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-18页 |
| 1.1 课题背景 | 第13-15页 |
| 1.1.1 超声研磨的原理及应用 | 第13-14页 |
| 1.1.2 超声电源的研究现状及进展 | 第14-15页 |
| 1.2 课题研究目的与内容 | 第15-16页 |
| 1.3 各章节内容安排 | 第16-18页 |
| 第二章 超声研磨电源中的一些关键技术 | 第18-27页 |
| 2.1 超声电源整体结构综述 | 第18页 |
| 2.2 固结磨料超声研磨用压电换能器等效阻抗分析 | 第18-23页 |
| 2.2.1 固结磨料超声研磨的材料去除过程 | 第19页 |
| 2.2.2 超声研磨振动系统的力学模型 | 第19-20页 |
| 2.2.3 负载的等效阻抗 | 第20-22页 |
| 2.2.4 压电超声换能器的等效阻抗及负载特性 | 第22-23页 |
| 2.2.5 使用恒流源驱动换能器的必要性 | 第23页 |
| 2.3 超声研磨电源中涉及的一些其他关键技术 | 第23-24页 |
| 2.4 超声研磨电源参数设定 | 第24-26页 |
| 2.4.1 换能器简介 | 第24-25页 |
| 2.4.2 换能器参数的测量及电源参数的确定 | 第25-26页 |
| 2.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 超声研磨恒流电源硬件电路的设计 | 第27-42页 |
| 3.1 总体电源方案设计 | 第27页 |
| 3.2 电源供电模块 | 第27-28页 |
| 3.3 DDS正弦信号发生器 | 第28-31页 |
| 3.3.1 DDS技术简介 | 第28-29页 |
| 3.3.2 AD9851芯片介绍 | 第29-30页 |
| 3.3.3 DDS控制设计 | 第30页 |
| 3.3.4 DDS外围电路设计 | 第30-31页 |
| 3.4 功率放大电路设计 | 第31-37页 |
| 3.4.1 A类~H类放大器 | 第31-33页 |
| 3.4.2 功率放大主电路 | 第33-34页 |
| 3.4.3 DC/DC可调降压器 | 第34-36页 |
| 3.4.4 变压器的设计 | 第36-37页 |
| 3.5 保护、监测电路设计 | 第37-39页 |
| 3.6 换能器匹配电路设计 | 第39-40页 |
| 3.6.1 匹配电感的计算 | 第39-40页 |
| 3.6.2 匹配电感的设计 | 第40页 |
| 3.7 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 超声研磨恒流电源控制系统的设计 | 第42-59页 |
| 4.1 DSP控制系统设计 | 第42-46页 |
| 4.1.1 DSP简介 | 第42页 |
| 4.1.2 TMS320F28335芯片概述 | 第42-43页 |
| 4.1.3 DSP硬件系统设计 | 第43-45页 |
| 4.1.4 DSP开发环境CCS | 第45-46页 |
| 4.1.5 DSP主要负责的控制部分及涉及模块 | 第46页 |
| 4.2 CPLD信号处理模块的设计 | 第46-49页 |
| 4.2.1 CPLD简介 | 第46-48页 |
| 4.2.2 CPLD硬件系统设计 | 第48页 |
| 4.2.3 CPLD开发环境Quartus II | 第48页 |
| 4.2.4 CPLD负责的数据处理模块 | 第48-49页 |
| 4.3 DSP与CPLD之间的通信方式 | 第49-50页 |
| 4.4 超声研磨电源的控制算法及程序流程图 | 第50-58页 |
| 4.4.1 DSP模块的初始化配置 | 第51-52页 |
| 4.4.2 控制算法 | 第52-56页 |
| 4.4.3 程序流程图 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 超声研磨恒流电源性能测试与结果 | 第59-66页 |
| 5.1 测试试验平台搭建 | 第59-61页 |
| 5.1.1 换能器的进电装置设计 | 第59-60页 |
| 5.1.2 超声研磨试验工件 | 第60页 |
| 5.1.3 夹具设计 | 第60-61页 |
| 5.2 电源性能测试试验 | 第61-64页 |
| 5.2.1 试验方案设计 | 第61-62页 |
| 5.2.2 试验操作过程 | 第62页 |
| 5.2.3 电源性能测试结果及分析 | 第62-64页 |
| 5.3 超声研磨试验与结果 | 第64-65页 |
| 5.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 总结与展望 | 第66-68页 |
| 6.1 论文完成的主要工作 | 第66-67页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 在读研期间的研究成果及发表的学术论文 | 第72页 |
