谐振式液位传感器的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 研究的背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.1.1 研究的背景 | 第8-9页 |
| 1.1.2 研究的目的和意义 | 第9页 |
| 1.2 国内外研究综述 | 第9-13页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第10-12页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第12页 |
| 1.2.3 国内外文献评价 | 第12-13页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第13-16页 |
| 1.3.1 研究内容 | 第13-14页 |
| 1.3.2 研究方法 | 第14-16页 |
| 第2章 谐振式液位传感器分析与工艺设计 | 第16-28页 |
| 2.1 谐振式石英晶体传感器 | 第16-21页 |
| 2.1.1 石英晶体谐振器 | 第16-20页 |
| 2.1.2 石英晶体谐振器的结构及生产流程 | 第20-21页 |
| 2.2 石英晶体传感器液相检测 | 第21页 |
| 2.3 谐振式石英晶体传感器工艺设计 | 第21-25页 |
| 2.3.1 谐振式石英晶体传感器电极制备工艺 | 第22页 |
| 2.3.2 制备电极材料的蒸发条件 | 第22-24页 |
| 2.3.3 真空蒸镀的薄膜材料 | 第24-25页 |
| 2.4 影响电极材料真空蒸镀主要因素分析 | 第25页 |
| 2.5 电极薄膜检测技术 | 第25-27页 |
| 2.5.1 薄膜厚度的测量 | 第25-26页 |
| 2.5.2 薄膜表面形貌的分析技术 | 第26-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 谐振式液位传感器模型及等效电路分析 | 第28-35页 |
| 3.1 石英晶体微天平 | 第28页 |
| 3.2 石英晶体微天平的谐振参数与模型 | 第28-33页 |
| 3.3 石英晶体微天平的等效电路分析 | 第33-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 谐振式液位传感器结构设计及制备 | 第35-43页 |
| 4.1 传感器的结构设计 | 第35-36页 |
| 4.2 电极结构设计 | 第36-40页 |
| 4.2.1 能陷理论 | 第36-38页 |
| 4.2.2 电极材料的选取原则 | 第38页 |
| 4.2.3 电极面积的设计 | 第38-39页 |
| 4.2.4 电极厚度的设计 | 第39-40页 |
| 4.3 电极的制备和实验工艺 | 第40-42页 |
| 4.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第5章 谐振式液位传感器测试结果分析 | 第43-51页 |
| 5.1 谐振式液位传感器测量方法 | 第43-44页 |
| 5.2 不同液体测量结果与分析 | 第44-47页 |
| 5.3 不同基频测量结果与分析 | 第47-48页 |
| 5.4 薄膜的表面特性分析 | 第48-50页 |
| 5.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 结论 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 附录 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58页 |
