| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 第一章 概述 | 第8-19页 |
| 1.1 引言 | 第8页 |
| 1.2 DLC薄膜的研究现状和应用 | 第8-11页 |
| 1.2.1 DLC薄膜的研究现状 | 第8-9页 |
| 1.2.2 DLC薄膜的应用 | 第9-11页 |
| 1.3 DLC薄膜存在的问题 | 第11页 |
| 1.4 减小DLC薄膜应力的方法 | 第11-18页 |
| 1.4.1 退火 | 第11-13页 |
| 1.4.2 掺杂 | 第13-15页 |
| 1.4.3 加偏压 | 第15-16页 |
| 1.4.4 多层膜 | 第16-17页 |
| 1.4.5 其他方法 | 第17-18页 |
| 1.5 本文的研究意义及研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 DLC薄膜制备方法与实验手段 | 第19-26页 |
| 2.1 DLC薄膜的常用制备方法 | 第19-21页 |
| 2.1.1 离子束沉积 | 第19页 |
| 2.1.2 等离子增强化学气相沉积 | 第19-21页 |
| 2.1.3 溅射沉积 | 第21页 |
| 2.1.4 真空阴极弧 | 第21页 |
| 2.2 DLC薄膜制备实验设备 | 第21-23页 |
| 2.2.1 磁过滤阴极弧技术的工作原理 | 第21-22页 |
| 2.2.2 磁过滤阴极弧沉积设备 | 第22-23页 |
| 2.3 DLC薄膜性能测试仪器、设备 | 第23-26页 |
| 2.3.1 DLC薄膜成份测试 | 第24页 |
| 2.3.2 DLC薄膜结构测试 | 第24页 |
| 2.3.3 DLC薄膜厚度测试 | 第24页 |
| 2.3.4 DLC薄膜应力测试 | 第24-25页 |
| 2.3.5 DLC硬度和杨氏模量测试 | 第25页 |
| 2.3.6 DLC薄膜摩擦系数测试 | 第25页 |
| 2.3.7 DLC薄膜附着力测试 | 第25-26页 |
| 第三章 钛掺杂类金刚石薄膜性能研究 | 第26-34页 |
| 3.1 Ti-DLC薄膜的制备 | 第26-27页 |
| 3.1.1 样品清洗 | 第26页 |
| 3.1.2 Ti-DLC薄膜沉积 | 第26-27页 |
| 3.2 Ti-DLC薄膜成分与性能测试 | 第27-31页 |
| 3.2.1 Ti-DLC薄膜成分测试 | 第27-29页 |
| 3.2.2 Ti-DLC薄膜厚度和应力 | 第29页 |
| 3.2.3 Ti-DLC薄膜硬度和杨氏模量测试 | 第29-30页 |
| 3.2.4 Ti-DLC薄膜摩擦系数测试 | 第30-31页 |
| 3.3 Ti-DLC薄膜性能随钛含量变化研究 | 第31-33页 |
| 3.3.1 Ti-DLC薄膜性能随钛含量变化关系 | 第31-32页 |
| 3.3.2 Ti-DLC薄膜性能随钛含量的变化分析 | 第32-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 类金刚石薄膜性能研究 | 第34-40页 |
| 4.1 DLC薄膜的制备 | 第34页 |
| 4.1.1 样品清洗 | 第34页 |
| 4.1.2 Ti-DLC薄膜沉积 | 第34页 |
| 4.2 DLC薄膜性能测试 | 第34-36页 |
| 4.2.1 DLC薄膜厚度和应力测试 | 第34-35页 |
| 4.2.2 DLC薄膜硬度测试 | 第35页 |
| 4.2.3 DLC薄膜摩擦系数测试 | 第35-36页 |
| 4.3 DLC薄膜性能变化分析 | 第36-39页 |
| 4.4 本章小结 | 第39-40页 |
| 第五章 多层类金刚石薄膜机械性能研究 | 第40-46页 |
| 5.1 多层DLC薄膜的设计与制备 | 第40-43页 |
| 5.1.1 多层DLC薄膜的设计 | 第40-41页 |
| 5.1.2 多层DLC薄膜制备 | 第41-43页 |
| 5.2 多层DLC薄膜性能研究 | 第43-44页 |
| 5.2.1 多层DLC薄膜厚度、应力、硬度和模量测试 | 第43页 |
| 5.2.2 多层DLC薄膜摩擦系数测试 | 第43-44页 |
| 5.2.4 多层DLC薄膜附着力测试 | 第44页 |
| 5.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 第六章 结论 | 第46-48页 |
| 6.1 主要结论 | 第46-47页 |
| 6.2 研究展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-52页 |
| 致谢 | 第52页 |