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钛酸铋钠钾无铅铁电薄膜织构调控及电性能研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第1章 绪论第10-23页
    1.1 铁电薄膜材料概述第10-16页
        1.1.1 铁电薄膜材料简介第10页
        1.1.2 铁电薄膜材料发展简况第10-11页
        1.1.3 铁电薄膜材料结构及分类第11-13页
        1.1.4 铁电薄膜材料基本特性第13-16页
    1.2 铁电薄膜材料常用制备技术第16-17页
        1.2.1 脉冲激光沉积法第16页
        1.2.2 溅射法第16-17页
        1.2.3 化学气相沉积法第17页
        1.2.4 溶胶凝胶法第17页
    1.3 铁电薄膜材料应用第17-19页
        1.3.1 铁电存储器上的应用第17-18页
        1.3.2 热释电红外探测器上的应用第18-19页
        1.3.3 微机电系统中的应用第19页
    1.4 钛酸铋钠基无铅铁电材料第19-21页
        1.4.1 钛酸铋钠基无铅铁电材料简述第19-20页
        1.4.2 钛酸铋钠基无铅铁电材料基本性质第20-21页
        1.4.3 钛酸铋钠基铁电薄膜研究现状第21页
    1.5 本文选题依据及主要研究内容第21-23页
第2章 薄膜制备及分析测试方法第23-27页
    2.1 薄膜制备所需仪器及实验材料第23页
        2.1.1 制膜所需主要仪器第23页
        2.1.2 制膜所需实验材料第23页
    2.2 NKBT薄膜制备第23-25页
        2.2.1 NKBT前驱体溶液配制第23-24页
        2.2.2 衬底清洗第24-25页
        2.2.3 薄膜制备流程第25页
        2.2.4 电极制备第25页
    2.3 薄膜分析测试方法第25-27页
        2.3.1 XRD和表面形貌表征第25-26页
        2.3.2 电学性能表征第26-27页
第3章 热处理温度对NKBT薄膜性能的影响及PLCT薄膜性能研究第27-34页
    3.1 热处理温度对NKBT薄膜性能的影响第27-30页
        3.1.1 不同热分解温度下的NKBT薄膜晶化行为研究第27-28页
        3.1.2 退火温度对NKBT薄膜晶化行为的影响第28-29页
        3.1.3 热分解温度对NKBT薄膜微观形貌的影响第29页
        3.1.4 NKBT薄膜铁电性能研究第29-30页
    3.2 组分对PLCT薄膜行能的影响第30-33页
        3.2.1 不同组分PLCT薄膜的晶体结构第30-31页
        3.2.2 不同组分PLCT薄膜的电性能第31-33页
    3.3 本章小结第33-34页
第4章 种子层对NKBT薄膜取向及电性能的影响第34-40页
    4.1 种子层对NKBT薄膜结晶取向的影响第34-36页
    4.2 种子层对NKBT薄膜的微结构的影响第36-37页
    4.3 种子层对NKBT薄膜的电性能的影响第37-39页
        4.3.1 NKBT薄膜的介电性能研究第37页
        4.3.2 NKBT薄膜的铁电性能研究第37-39页
    4.4 本章小结第39-40页
结论第40-41页
参考文献第41-45页
攻读学位期间发表及待发表的学术论文第45-46页
致谢第46页

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