| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-42页 |
| 1.1 金刚石涂层工具及膜层低温沉积研究现状 | 第12-21页 |
| 1.1.1 CVD金刚石涂层技术的发展 | 第12-14页 |
| 1.1.2 金刚石涂层工具研究及应用 | 第14-17页 |
| 1.1.3 金刚石涂层附着性能及影响因素 | 第17-19页 |
| 1.1.4 膜层的低温沉积及特点 | 第19-21页 |
| 1.2 硬质合金基体预处理方法 | 第21-25页 |
| 1.2.1 基体表面净化与脱钴 | 第21-23页 |
| 1.2.2 添加过渡层 | 第23-24页 |
| 1.2.3 元素渗透法和离子注入法 | 第24-25页 |
| 1.3 金刚石膜过渡层研究及热点问题 | 第25-31页 |
| 1.3.1 过渡层的作用 | 第25-26页 |
| 1.3.2 过渡层的种类 | 第26-29页 |
| 1.3.3 过渡层的制备方法 | 第29-30页 |
| 1.3.4 热点问题 | 第30-31页 |
| 1.4 金刚石膜SiC过渡层研究进展与低温沉积 | 第31-38页 |
| 1.4.1 SiC的结构及特性 | 第32-34页 |
| 1.4.2 金刚石膜SiC过渡层研究进展 | 第34-35页 |
| 1.4.3 金刚石膜SiC过渡层的制备与低温沉积 | 第35-38页 |
| 1.5 本文的选题依据和研究内容 | 第38-42页 |
| 1.5.1 选题依据 | 第38-39页 |
| 1.5.2 研究内容 | 第39-40页 |
| 1.5.3 论文撰写思路 | 第40-42页 |
| 第2章 实验与表征方法 | 第42-51页 |
| 2.1 中频磁控溅射制备SiC过渡层 | 第42-45页 |
| 2.1.1 表面预处理 | 第42-43页 |
| 2.1.2 镀膜系统 | 第43-45页 |
| 2.1.3 实验方法 | 第45页 |
| 2.2 硬质合金表面Ti离子注入 | 第45-47页 |
| 2.2.1 表面预处理 | 第45-46页 |
| 2.2.2 镀膜系统和实验方法 | 第46-47页 |
| 2.3 HFCVD方法制备金刚石涂层 | 第47-48页 |
| 2.3.1 表面预处理 | 第47页 |
| 2.3.2 镀膜系统和实验方法 | 第47-48页 |
| 2.4 薄膜测试与表征 | 第48-51页 |
| 2.4.1 扫描电子显微镜 | 第48-49页 |
| 2.4.2 X射线衍射仪 | 第49页 |
| 2.4.3 三维白光干涉表面形貌仪 | 第49页 |
| 2.4.4 拉曼光谱仪 | 第49-50页 |
| 2.4.5 球-盘摩擦磨损实验机 | 第50页 |
| 2.4.6 多功能材料表面性能试验仪 | 第50-51页 |
| 第3章 磁控溅射沉积参数对SiC过渡层结构和性能的影响 | 第51-73页 |
| 3.1 沉积温度对SiC过渡层组织结构及性能的影响 | 第51-56页 |
| 3.1.1 膜厚及三维表面形貌 | 第51-53页 |
| 3.1.2 SEM表面形貌 | 第53-54页 |
| 3.1.3 XRD图谱 | 第54-55页 |
| 3.1.4 磨痕形貌 | 第55-56页 |
| 3.2 偏压对SiC过渡层组织结构及性能的影响 | 第56-61页 |
| 3.2.1 膜厚及三维表面形貌 | 第56-58页 |
| 3.2.2 SEM表面形貌及成分 | 第58-60页 |
| 3.2.3 磨痕形貌 | 第60-61页 |
| 3.3 靶电流对SiC过渡层组织结构及性能的影响 | 第61-66页 |
| 3.3.1 膜厚及三维表面形貌 | 第61-63页 |
| 3.3.2 SEM表面形貌及成分 | 第63-65页 |
| 3.3.3 磨痕形貌 | 第65-66页 |
| 3.4 反应气体流量对SiC过渡层组织结构及性能的影响 | 第66-71页 |
| 3.4.1 膜厚及三维表面形貌 | 第66-68页 |
| 3.4.2 SEM表面形貌及成分 | 第68-70页 |
| 3.4.3 磨痕形貌 | 第70-71页 |
| 3.5 本章小结 | 第71-73页 |
| 第4章 SiC过渡层对金刚石形核、生长及性能的影响 | 第73-95页 |
| 4.1 SiC过渡层对金刚石形核的影响 | 第73-74页 |
| 4.2 SiC过渡层表面形貌对金刚石形核的影响 | 第74-82页 |
| 4.2.1 SiC过渡层表面组织对金刚石形核的影响 | 第75-77页 |
| 4.2.2 SiC过渡层表面缺陷对金刚石形核及生长的影响 | 第77-82页 |
| 4.3 SiC过渡层成分变化对金刚石形核、生长及性能的影响 | 第82-86页 |
| 4.4 SiC过渡层相结构变化对金刚石镀膜的影响及机理 | 第86-94页 |
| 4.4.1 SiC过渡层相结构变化对金刚石形核及膜层性能的影响 | 第86-91页 |
| 4.4.2 过渡层中β-SiC相促进金刚石形核及生长的机理 | 第91-94页 |
| 4.5 本章小结 | 第94-95页 |
| 第5章 Ti离子注入对硬质合金表面金刚石形核的影响 | 第95-103页 |
| 5.1 Ti离子注入对硬质合金基体表面成分和结构的影响 | 第95-99页 |
| 5.2 Ti离子注入对金刚石形核及性能的影响 | 第99-102页 |
| 5.3 本章小结 | 第102-103页 |
| 第6章 结论 | 第103-106页 |
| 6.1 主要结论 | 第103-105页 |
| 6.2 创新点 | 第105-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-117页 |
| 附录 | 第117页 |
