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负氢离子源的整体模型模拟研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-19页
    1.1 低温等离子体简介第9-10页
    1.2 负氢离子源的简介第10-12页
    1.3 负氢离子源的发展第12-14页
    1.4 负氢离子源的研究概览第14-18页
        1.4.1 负氢离子源的模拟方法第14-15页
        1.4.2 负氢离子源模拟研究进展第15-18页
    1.5 论文的结构与内容第18-19页
2 整体模型模拟方法第19-27页
    2.1 概述第19页
    2.2 粒子数平衡方程第19-20页
    2.3 能量平衡方程第20页
    2.4 气体温度,表面反应及泵气过程第20-23页
        2.4.1 气体温度第20页
        2.4.2 表面反应第20-22页
        2.4.3 泵气过程第22-23页
    2.5 粒子从底部扩散出去的处理第23页
    2.6 本章小结第23-27页
3 负氢离子源源区放电特性研究第27-50页
    3.1 引言第27页
    3.2 吸收功率对源区放电特性的影响第27-31页
    3.3 放电气压对源区放电特性的影响第31-38页
    3.4 粒子透过模型的放电特性第38-42页
    3.5 不同假定温度对计算结果的影响第42-48页
    3.6 本章小结第48-50页
结论第50-52页
参考文献第52-55页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况第55-56页
致谢第56-57页

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