负氢离子源的整体模型模拟研究
摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
1 绪论 | 第9-19页 |
1.1 低温等离子体简介 | 第9-10页 |
1.2 负氢离子源的简介 | 第10-12页 |
1.3 负氢离子源的发展 | 第12-14页 |
1.4 负氢离子源的研究概览 | 第14-18页 |
1.4.1 负氢离子源的模拟方法 | 第14-15页 |
1.4.2 负氢离子源模拟研究进展 | 第15-18页 |
1.5 论文的结构与内容 | 第18-19页 |
2 整体模型模拟方法 | 第19-27页 |
2.1 概述 | 第19页 |
2.2 粒子数平衡方程 | 第19-20页 |
2.3 能量平衡方程 | 第20页 |
2.4 气体温度,表面反应及泵气过程 | 第20-23页 |
2.4.1 气体温度 | 第20页 |
2.4.2 表面反应 | 第20-22页 |
2.4.3 泵气过程 | 第22-23页 |
2.5 粒子从底部扩散出去的处理 | 第23页 |
2.6 本章小结 | 第23-27页 |
3 负氢离子源源区放电特性研究 | 第27-50页 |
3.1 引言 | 第27页 |
3.2 吸收功率对源区放电特性的影响 | 第27-31页 |
3.3 放电气压对源区放电特性的影响 | 第31-38页 |
3.4 粒子透过模型的放电特性 | 第38-42页 |
3.5 不同假定温度对计算结果的影响 | 第42-48页 |
3.6 本章小结 | 第48-50页 |
结论 | 第50-52页 |
参考文献 | 第52-55页 |
攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第55-56页 |
致谢 | 第56-57页 |