| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-33页 |
| 1.1 课题研究背景、意义及目的 | 第11-12页 |
| 1.2 课题研究现状 | 第12-30页 |
| 1.2.1 纱线张力传感器 | 第12-16页 |
| 1.2.2 声表面波技术 | 第16-19页 |
| 1.2.3 声表面波传感器 | 第19-30页 |
| 1.2.3.1 声表面波传感器工作原理及结构 | 第19-21页 |
| 1.2.3.2 声表面波传感器技术特点 | 第21-22页 |
| 1.2.3.3 声表面波传感器的发展 | 第22-30页 |
| 1.3 论文研究内容及章节安排 | 第30-33页 |
| 第二章 声表面波纱线张力传感器设计及原理 | 第33-45页 |
| 2.1 引言 | 第33页 |
| 2.2 声表面波延迟线式振荡器的设计 | 第33-37页 |
| 2.2.1 压电基片的选择 | 第33-35页 |
| 2.2.2 叉指换能器的设计 | 第35-37页 |
| 2.3 声表面波延迟线式振荡器的制作 | 第37-39页 |
| 2.3.1 基片制备 | 第37页 |
| 2.3.2 沉积金属膜 | 第37-38页 |
| 2.3.3 光刻 | 第38-39页 |
| 2.3.4 腐蚀金属膜 | 第39页 |
| 2.4 声表面波纱线张力传感器结构设计 | 第39-40页 |
| 2.5 声表面波纱线张力传感器的工作原理 | 第40-43页 |
| 2.5.1 传感器输入输出量之间线性回归数学模型的建立 | 第40-42页 |
| 2.5.2 传感器输入输出量之间线性回归数学模型的求解 | 第42-43页 |
| 2.6 本章小结 | 第43-45页 |
| 第三章 基于有限元的声表面波纱线张力传感器灵敏度优化设计方法研究 | 第45-65页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 声表面波纱线张力传感器灵敏度和基片应变率之间的线性回归数学模型 | 第45-51页 |
| 3.2.1 传感器灵敏度和基片应变率之间函数关系推导 | 第45-49页 |
| 3.2.2 传感器灵敏度和基片应变率之间线性回归数学模型的建立 | 第49页 |
| 3.2.3 传感器灵敏度和基片应变率之间线性回归数学模型的求解 | 第49-51页 |
| 3.3 声表面波纱线张力传感器基片应变率和尺寸之间的线性回归数学模型 | 第51-52页 |
| 3.3.1 传感器基片应变率和尺寸之间线性回归数学模型的建立 | 第51页 |
| 3.3.2 传感器基片应变率和尺寸之间线性回归数学模型的求解 | 第51-52页 |
| 3.4 声表面波纱线张力传感器测试及基片应变率求解 | 第52-57页 |
| 3.4.1 传感器的测试 | 第52-55页 |
| 3.4.2 基于有限元的传感器基片应变率求解 | 第55-57页 |
| 3.5 声表面波纱线张力传感器灵敏度优化设计方法 | 第57-62页 |
| 3.5.1 传感器灵敏度和基片应变率之间线性回归数学模型 | 第57-61页 |
| 3.5.2 传感器基片应变率和尺寸之间线性回归数学模型 | 第61-62页 |
| 3.5.3 传感器灵敏度优化设计方法 | 第62页 |
| 3.6 结果及讨论 | 第62-64页 |
| 3.7 本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 叉指换能器放置位置对声表面波纱线张力传感器灵敏度影响问题的研究 | 第65-79页 |
| 4.1 引言 | 第65页 |
| 4.2 声表面波纱线张力传感器基片应力-应变特性 | 第65-70页 |
| 4.2.1 传感器基片应力-应变分布 | 第65-68页 |
| 4.2.2 基片应力-应变分布对传感器灵敏度的影响 | 第68-70页 |
| 4.3 传感器灵敏度和叉指换能器放置位置之间关系的推导 | 第70-71页 |
| 4.3.1 传感器灵敏度和叉指换能器放置位置之间线性回归数学模型的建立 | 第70-71页 |
| 4.3.2 传感器灵敏度和叉指换能器放置位置之间线性回归数学模型的求解 | 第71页 |
| 4.4 声表面波纱线张力传感器测试 | 第71-73页 |
| 4.5 结果及讨论 | 第73-77页 |
| 4.5.1 传感器的灵敏度 | 第73-75页 |
| 4.5.2 传感器灵敏度和叉指换能器放置位置之间线性回归数学模型 | 第75-76页 |
| 4.5.3 结论 | 第76-77页 |
| 4.6 本章小结 | 第77-79页 |
| 第五章 声表面波纱线张力传感器基片的等应变率结构研究 | 第79-101页 |
| 5.1 引言 | 第79页 |
| 5.2 声表面波纱线张力传感器基片的应变率分布特性 | 第79-83页 |
| 5.2.1 传感器基片应变率的分布 | 第79-82页 |
| 5.2.2 基片沿 Z 轴应变率分布对叉指换能器应变位移矢量的影响 | 第82-83页 |
| 5.3 声表面波纱线张力传感器基片等应变率结构 | 第83-96页 |
| 5.3.1 传感器基片的应力-应变特性 | 第83-86页 |
| 5.3.2 传感器基片等应变率结构 | 第86-87页 |
| 5.3.3 传感器基片等应变率结构求解数学模型的建立 | 第87-90页 |
| 5.3.4 传感器基片等应变率结构数学模型的求解 | 第90-96页 |
| 5.4 声表面波纱线张力传感器测试 | 第96-97页 |
| 5.5 结果和讨论 | 第97-99页 |
| 5.5.1 结果 | 第97-98页 |
| 5.5.2 讨论 | 第98-99页 |
| 5.6 本章小结 | 第99-101页 |
| 第六章 应用研究 | 第101-107页 |
| 6.1 引言 | 第101页 |
| 6.2 有限元方法用于中空基片应力-应变的分析 | 第101-103页 |
| 6.3 有限元方法用于等应变率中空基片的研究 | 第103-106页 |
| 6.4 本章小结 | 第106-107页 |
| 第七章 总结与展望 | 第107-111页 |
| 7.1 总结 | 第107-109页 |
| 7.2 展望 | 第109-111页 |
| 参考文献 | 第111-125页 |
| 致谢 | 第125-127页 |
| 攻读博士学位期间学术科研成果 | 第127-129页 |
| 发表论文 | 第127页 |
| 参与科研项目 | 第127页 |
| 所获奖励 | 第127-129页 |
| 附录 | 第129-132页 |
