| 致谢 | 第5-7页 |
| 摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第15-36页 |
| 1.1 研究背景 | 第15-17页 |
| 1.2 面向微器件的材料参数测量与成像检测技术 | 第17-21页 |
| 1.2.1 光学和扫描探针检测技术 | 第17页 |
| 1.2.2 红外热成像检测技术 | 第17页 |
| 1.2.3 声发射检测技术 | 第17-18页 |
| 1.2.4 激光散射检测技术 | 第18页 |
| 1.2.5 X射线检测技术 | 第18页 |
| 1.2.6 超声检测技术 | 第18-19页 |
| 1.2.7 超声与其他物理手段相结合的检测技术 | 第19-21页 |
| 1.3 扫描超声显微成像检测技术研究现状 | 第21-31页 |
| 1.3.1 扫描超声显微成像工作原理 | 第21-23页 |
| 1.3.2 材料多参数测量与超声显微成像机制 | 第23-26页 |
| 1.3.3 超声图像中快速缺陷检测技术 | 第26页 |
| 1.3.4 扫描超声显微成像检测系统 | 第26-31页 |
| 1.4 论文的研究意义及研究内容 | 第31-35页 |
| 1.4.1 论文研究意义与目标 | 第31-32页 |
| 1.4.2 论文来源与项目支持 | 第32页 |
| 1.4.3 论文的研究内容 | 第32-35页 |
| 1.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 2 材料局域多参数定量测量技术 | 第36-56页 |
| 2.1 引言 | 第36-37页 |
| 2.2 基于 V(z,t)的局域多参数测量 | 第37-43页 |
| 2.2.1 二维反射系数谱R_t(θ,ω)的理论模型 | 第37-40页 |
| 2.2.2 从V(z,t)到二维反射系数谱R_e(θ,ω)的测量 | 第40页 |
| 2.2.3 二维反射系数谱拟合求解局域多参数算法 | 第40-41页 |
| 2.2.4 实验研究结果与分析 | 第41-43页 |
| 2.3 基于自动聚焦的局域多参数测量 | 第43-54页 |
| 2.3.1 局域声速和厚度同时测量 | 第43-46页 |
| 2.3.2 局域声阻抗测量 | 第46-49页 |
| 2.3.3 实验研究结果与分析 | 第49-54页 |
| 2.4 本章小结 | 第54-56页 |
| 3 多层材料多参数定量测量技术 | 第56-76页 |
| 3.1 引言 | 第56-57页 |
| 3.2 时域超声信号处理与多层多参数测量 | 第57-61页 |
| 3.2.1 时域超声信号处理 | 第57-60页 |
| 3.2.2 多层材料多参数测量算法 | 第60-61页 |
| 3.3 实验研究 | 第61-74页 |
| 3.3.1 实验准备 | 第61-62页 |
| 3.3.2 实验结果 | 第62-73页 |
| 3.3.3 分析与讨论 | 第73-74页 |
| 3.4 本章小结 | 第74-76页 |
| 4 大规模微器件超声图像中缺陷快速检测技术 | 第76-94页 |
| 4.1 引言 | 第76-78页 |
| 4.2 大规模微器件超声图像中的显著性检测 | 第78-82页 |
| 4.3 基于显著图的缺陷检测方法 | 第82-84页 |
| 4.4 实验研究 | 第84-93页 |
| 4.4.1 实验准备 | 第85页 |
| 4.4.2 实验结果 | 第85-91页 |
| 4.4.3 分析与讨论 | 第91-93页 |
| 4.5 本章小结 | 第93-94页 |
| 5 高效率扫描超声显微成像检测系统 | 第94-125页 |
| 5.1 引言 | 第94-95页 |
| 5.2 扫描超声显微检测系统的建立 | 第95-100页 |
| 5.2.1 基本工作原理 | 第95-97页 |
| 5.2.2 系统硬件和软件 | 第97-100页 |
| 5.3 双轴联动快速扫描轨迹的理论研究 | 第100-118页 |
| 5.3.1 快速扫描方法的提出与效率分析 | 第100-106页 |
| 5.3.2 最优快速扫描方法的一般形式 | 第106-111页 |
| 5.3.3 双轴联动快速扫描方法的实验验证 | 第111-117页 |
| 5.3.4 快速扫描方法的优势 | 第117-118页 |
| 5.4 扫描超声显微检测系统多种成像模式及实验结果 | 第118-123页 |
| 5.5 本章小结 | 第123-125页 |
| 6 总结与展望 | 第125-129页 |
| 6.1 论文总结 | 第125-127页 |
| 6.2 论文创新点 | 第127页 |
| 6.3 研究展望 | 第127-129页 |
| 参考文献 | 第129-142页 |
| 作者攻读博士学位期间的成果 | 第142-145页 |
