| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 1 绪论 | 第11-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第11-12页 |
| 1.2 热电材料SrTiO_3研究现状 | 第12-13页 |
| 1.3 本论文的研究目的及意义 | 第13-15页 |
| 2 实验仪器及性能参数 | 第15-16页 |
| 3 还原RP相Sr_(n+1)Ti_nO_(3n+1)薄膜电、热输运性能 | 第16-26页 |
| 3.1 还原的RP相Sr_(n+1)Ti_nO_(3n+1)薄膜的制备及其输运性能 | 第16-18页 |
| 3.1.1 还原的RP相Sr_(n+1)Ti_nO_(3n+1)薄膜的制备 | 第16-17页 |
| 3.1.2 还原的RP相Sr_(n+1)Ti_nO_(3n+1-δ)薄膜的物相分析 | 第17-18页 |
| 3.1.3 还原的RP相Sr_(n+1)Ti_nO_(3n+1)薄膜的输运性能 | 第18页 |
| 3.2 还原的RP相Sr_(n+1)Ti_nO_(3n+1)的电、热输运性能 | 第18-24页 |
| 3.2.1 电导率 | 第18-23页 |
| 3.2.2 塞贝克系数 | 第23-24页 |
| 3.2.3 功率因子 | 第24页 |
| 3.3 小结 | 第24-26页 |
| 4 离子注入Nb元素改善SrTiO_3外延薄膜的热电性能 | 第26-37页 |
| 4.1 SrTiO_3靶材的制备及物相分析 | 第26-27页 |
| 4.1.1 SrTiO_3靶材的制备 | 第26-27页 |
| 4.1.2 SrTiO_3靶材的物相分析 | 第27页 |
| 4.2 SrTiO_3薄膜的制备及物相分析 | 第27-28页 |
| 4.2.1 SrTiO_3薄膜的制备 | 第27页 |
| 4.2.2 SrTiO_3薄膜的物相分析 | 第27-28页 |
| 4.3 Nb离子注入SrTiO_3薄膜的动态退火温度的探究 | 第28-29页 |
| 4.4 Nb离子注入SrTiO_3薄膜退火时间的探究 | 第29-30页 |
| 4.5 Nb离子注入SrTiO_3薄膜制备及物相分析 | 第30-31页 |
| 4.6 Nb离子注入SrTiO_3薄膜的热电性能 | 第31-36页 |
| 4.6.1 电阻率 | 第31-33页 |
| 4.6.2 塞贝克系数 | 第33-34页 |
| 4.6.3 功率因子 | 第34-36页 |
| 4.7 小结 | 第36-37页 |
| 5 结论 | 第37-38页 |
| 参考文献 | 第38-43页 |
| 致谢 | 第43-44页 |
| 攻读学位期间取得的科研成果清单 | 第44页 |
