| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 风速风向的测量 | 第9-11页 |
| 1.1.1 风速风向的表示方法 | 第9-10页 |
| 1.1.2 风速风向传感器的主要性能指标 | 第10-11页 |
| 1.2 风速风向传感器的研究 | 第11-18页 |
| 1.2.1 传统风速传感器 | 第11-12页 |
| 1.2.2 MEMS热式风速风向传感器的发展 | 第12-18页 |
| 1.3 本论文的主要工作 | 第18-19页 |
| 1.3.1 目前研究中存在的问题 | 第18-19页 |
| 1.3.2 本课题任务 | 第19页 |
| 1.3.3 论文内容纲要 | 第19页 |
| 1.4 本章小结 | 第19-21页 |
| 第二章 MEMS热式风速风向传感器的相关原理 | 第21-33页 |
| 2.1 热式风速风向传感器的工作原理 | 第21-26页 |
| 2.1.1 热量传递的方式 | 第21-22页 |
| 2.1.2 边界层理论 | 第22-25页 |
| 2.1.3 芯片中心温度与加热功率的关系 | 第25-26页 |
| 2.2 MEMS热式风速风向传感器的控制模式 | 第26-29页 |
| 2.2.1 恒功率控制模式 | 第27-28页 |
| 2.2.2 恒温差控制模式 | 第28页 |
| 2.2.3 控制模式的对比总结 | 第28-29页 |
| 2.3 MEMS热式风速风向传感器的检测模式 | 第29-31页 |
| 2.3.1 热损失型检测模式 | 第29-30页 |
| 2.3.2 热温差型检测模式 | 第30-31页 |
| 2.3.3 热脉冲型检测模式 | 第31页 |
| 2.3.4 检测模式的对比总结 | 第31页 |
| 2.4 本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 MEMS热式风速风向传感器系统的优化 | 第33-51页 |
| 3.1 MEMS热式风速风向传感器系统的优化进程 | 第33-37页 |
| 3.1.1 针对输出不对称的问题 | 第33-35页 |
| 3.1.2 性能优化方面的研究 | 第35-36页 |
| 3.1.3 温漂补偿方面的研究 | 第36-37页 |
| 3.2 基于软件恒温差控制的传感器系统 | 第37-50页 |
| 3.2.1 MEMS热式风速风向传感器的结构 | 第37-39页 |
| 3.2.2 基于软件恒温差控制的传感器系统硬件设计 | 第39-43页 |
| 3.2.3 基于软件恒温差控制的系统软件设计 | 第43-50页 |
| 3.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 第四章 MEMS热式风速风向传感器系统的测试与分析 | 第51-61页 |
| 4.1 MEMS热式风速风向传感器系统的测试环境 | 第51页 |
| 4.2 风速风向传感器芯片驱动元件的性能测试 | 第51-53页 |
| 4.2.1 驱动元件自加热特性的实验 | 第51-53页 |
| 4.2.2 驱动元件的加热功率与温升关系的测试 | 第53页 |
| 4.3 软件恒温差控制的风速风向传感器的软件优化测试 | 第53-55页 |
| 4.4 优化的软件恒温差控制风速风向系统的性能测试 | 第55-58页 |
| 4.4.1 热损失风速性能测试 | 第55-56页 |
| 4.4.2 静态温漂特性测试 | 第56-57页 |
| 4.4.3 系统功耗分析 | 第57页 |
| 4.4.4 热温差风向性能测试 | 第57-58页 |
| 4.5 温漂现象的原因分析以及温漂补偿 | 第58-60页 |
| 4.5.1 原因分析 | 第58-60页 |
| 4.5.2 温漂补偿 | 第60页 |
| 4.6 本章小结 | 第60-61页 |
| 第五章 总结与展望 | 第61-63页 |
| 5.1 总结 | 第61页 |
| 5.2 进一步优化的思路 | 第61-62页 |
| 5.3 展望 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 作者简介 | 第67页 |
