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硒化镓薄片的制备与表面拉曼增强及场效应器件研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第10-34页
    1.1 硒化镓的研究第10-25页
        1.1.1 硒化镓的发展历史第10页
        1.1.2 硒化镓的制备方法第10-17页
        1.1.3 硒化镓的基本性质第17-23页
        1.1.4 硒化镓的应用研究第23-25页
    1.2 表面增强拉曼光谱第25-26页
        1.2.1 表面增强拉曼光谱的发展第25页
        1.2.2 表面增强拉曼光谱的增强机制第25-26页
    1.3 场效应晶体管第26-27页
        1.3.1 场效应晶体管简介第26页
        1.3.2 二维材料场效应晶体管发展第26-27页
    1.4 本论文的主要内容第27-28页
    参考文献第28-34页
第二章 硒化镓薄片的表面增强拉曼效应第34-52页
    2.1 引言第34-35页
    2.2 样品制备与表征第35-36页
        2.2.1 硒化镓的制备第35-36页
        2.2.2 分子沉积第36页
        2.2.3 样品的表征方法第36页
    2.3 硒化镓晶体表征与分析第36-41页
        2.3.1 硒化镓晶体的形貌、结构与组分第36-38页
        2.3.2 硒化镓拉曼光谱分析第38-41页
    2.4 硒化镓薄片表面增强拉曼的表征与分析第41-48页
        2.4.1 硒化镓表面增强拉曼表征第41-44页
        2.4.2 硒化镓表面增强拉曼机理研究第44-47页
        2.4.3 硒化镓“first-layer effect”研究第47-48页
    2.5 本章小结第48-49页
    参考文献第49-52页
第三章 硒化镓薄片迁移率的改善研究第52-67页
    3.1 背景研究第52-53页
    3.2 硒化镓薄片接触电极的制备与表征第53页
        3.2.1 shaodw mask制备电极第53页
        3.2.2 器件退火第53页
        3.2.3 器件表征方法第53页
    3.3 实验结果与分析第53-64页
        3.3.1 器件形貌与电导性质表征第53-55页
        3.3.2 金属电极的选择第55-57页
        3.3.3 退火时硒化镓FET性能影响研究第57-62页
        3.3.4 衬底对硒化镓FET影响的初步研究第62-64页
    3.4 小结第64-65页
    参考文献第65-67页
第四章 展望第67-69页
致谢第69-70页
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果第70页

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