基于MEMS技术的非线性静电式能量采集器的研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 研究背景 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-26页 |
| 1.2.1 压电式转换 | 第13-17页 |
| 1.2.2 电磁式转换 | 第17-20页 |
| 1.2.3 静电式转换 | 第20-25页 |
| 1.2.4 复合式转换 | 第25-26页 |
| 1.3 课题研究内容 | 第26-27页 |
| 1.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第二章 静电式能量采集器的工作原理及结构设计理论 | 第28-46页 |
| 2.1 工作原理 | 第28-32页 |
| 2.1.1 静电式能量采集器的三种结构 | 第28-30页 |
| 2.1.2 动能-电能转化原理 | 第30-32页 |
| 2.2 非线性理论 | 第32-39页 |
| 2.2.1 非线性振动 | 第33-34页 |
| 2.2.2 非线性弹簧设计理论 | 第34-39页 |
| 2.3 碰撞结构设计理论 | 第39-42页 |
| 2.3.1 约束质体与弹性壁碰撞 | 第40页 |
| 2.3.2 单自由度系统碰撞振动 | 第40-42页 |
| 2.4 平面内转动器件设计理论 | 第42-45页 |
| 2.4.1 梳齿状电容及稳定性 | 第42-43页 |
| 2.4.2 蛇形弹簧工作原理 | 第43-45页 |
| 2.5 本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 静电式能量采集器的结构设计及仿真 | 第46-76页 |
| 3.1 主要结构设计及ANSYS仿真分析 | 第46-59页 |
| 3.1.1 非线性弹簧设计及仿真 | 第46-51页 |
| 3.1.2 蛇形弹簧设计及仿真 | 第51-53页 |
| 3.1.3 碰撞结构的设计 | 第53-57页 |
| 3.1.4 梳齿状电容的设计 | 第57-59页 |
| 3.2 直线运动器件设计及仿真 | 第59-66页 |
| 3.2.1 直线运动器件主级结构设计及仿真 | 第60-62页 |
| 3.2.2 直线运动器件次级结构设计及仿真 | 第62-66页 |
| 3.3 平面内转动器件设计及仿真 | 第66-69页 |
| 3.4 直线运动器件SPICE电学仿真分析 | 第69-75页 |
| 3.4.1 建立集总模型 | 第69-72页 |
| 3.4.2 直线运动器件主级结构非线性仿真 | 第72-75页 |
| 3.5 本章小结 | 第75-76页 |
| 第四章 静电式能量采集器的加工 | 第76-83页 |
| 4.1 基本加工工艺 | 第76-78页 |
| 4.2 器件加工及问题 | 第78-82页 |
| 4.3 本章小结 | 第82-83页 |
| 第五章 静电式能量采集器实验测试 | 第83-95页 |
| 5.1 测试原理及测试电路 | 第83-86页 |
| 5.2 实验数据处理及分析 | 第86-94页 |
| 5.3 本章小结 | 第94-95页 |
| 第六章 总结与展望 | 第95-97页 |
| 6.1 论文总结 | 第95-96页 |
| 6.2 工作展望 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-102页 |
