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磁控溅射制备二氧化硅薄膜的激光损伤研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第1章 绪论第9-19页
    1.1 课题的来源及研究的背景和意义第9-12页
        1.1.1 课题的来源第9页
        1.1.2 课题研究的背景和意义第9-12页
    1.2 国内外研究现状与分析第12-18页
        1.2.1 二氧化硅薄膜制备方法研究现状第12-14页
        1.2.2 薄膜激光损伤仿真研究现状第14-15页
        1.2.3 薄膜激光损伤实验研究现状第15-17页
        1.2.4 研究现状分析第17-18页
    1.3 论文的主要研究内容第18-19页
第2章 薄膜激光损伤仿真第19-40页
    2.1 引言第19页
    2.2 薄膜激光损伤的基本理论第19-22页
        2.2.1 薄膜激光损伤的定义第19页
        2.2.2 薄膜激光损伤的理论基础第19-22页
    2.3 激光辐照作用仿真第22-38页
        2.3.1 黑玻璃激光辐照作用仿真第23-26页
        2.3.2 镀膜后的黑玻璃激光辐照作用仿真第26-28页
        2.3.3 杂质诱导薄膜的激光损伤仿真第28-35页
        2.3.4 铝合金微弧氧化涂层激光损伤仿真第35-37页
        2.3.5 铝合金复合薄膜激光损伤仿真第37-38页
    2.4 本章小结第38-40页
第3章 二氧化硅薄膜制备与激光损伤实验第40-52页
    3.1 引言第40页
    3.2 磁控溅射制备二氧化硅薄膜第40-47页
        3.2.1 实验流程和实验参数第41-42页
        3.2.2 薄膜的表征分析第42-47页
    3.3 二氧化硅薄膜激光损伤测试实验第47-51页
        3.3.1 激光损伤测试实验第47-49页
        3.3.2 薄膜损伤形貌第49-51页
    3.4 本章小结第51-52页
第4章 复合薄膜制备与激光损伤实验第52-61页
    4.1 引言第52页
    4.2 铝合金复合薄膜的制备第52-54页
        4.2.1 二氧化硅薄膜的制备第52-53页
        4.2.2 样品表面形貌第53-54页
        4.2.3 样品的表面反射率第54页
    4.3 激光损伤测试实验第54-60页
        4.3.1 铝合金5083微弧氧化涂层镀膜前后损伤测试第54-58页
        4.3.2 铝合金7075微弧氧化涂层镀膜前后损伤测试第58-60页
    4.4 本章小结第60-61页
结论第61-62页
参考文献第62-68页
致谢第68页

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