| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 引言 | 第10-12页 |
| 第一章 文献综述 | 第12-24页 |
| 1.1 课题的研究背景 | 第12-14页 |
| 1.1.1 传统压痕测量 | 第12页 |
| 1.1.2 纳米压痕测量的原理 | 第12-13页 |
| 1.1.3 纳米压痕测量的影响因素 | 第13-14页 |
| 1.2 纳米压痕仪器的简介与应用 | 第14-17页 |
| 1.2.1 纳米压痕仪器简介 | 第14-16页 |
| 1.2.2 纳米压痕仪的应用 | 第16-17页 |
| 1.3 纳米压痕仪校准模型的研究现状 | 第17-21页 |
| 1.3.1 载荷与位移校准模型的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.3.2 机架柔度与面积函数模型的研究现状 | 第20-21页 |
| 1.4 纳米压痕仪标物的研究现状 | 第21-22页 |
| 1.5 课题主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第二章 纳米压痕理论及校准模型的提出 | 第24-29页 |
| 2.1 纳米硬度和折合模量的计算 | 第24-25页 |
| 2.2 针尖面积函数的计算 | 第25-26页 |
| 2.3 纳米压痕仪的机架柔度的计算 | 第26-27页 |
| 2.4 机架柔度与面积函数的校准模型提出 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 纳米压痕仪载荷因子的校准模型 | 第29-36页 |
| 3.1 引言 | 第29-30页 |
| 3.2 载荷因子校准模型的建立 | 第30-31页 |
| 3.3 载荷因子的实验校准 | 第31-34页 |
| 3.4 载荷因子校准模型的准确性检测 | 第34-35页 |
| 3.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章 纳米压痕仪面积函数与机架柔度的校准模型 | 第36-50页 |
| 4.1 AFM直接法校准模型 | 第36-40页 |
| 4.1.1 AFM直接法测量针尖面积函数 | 第36-38页 |
| 4.1.2 熔融石英对于机架柔度的校准 | 第38-39页 |
| 4.1.3 单晶钨对于机架柔度的校准 | 第39-40页 |
| 4.2 迭代法校准模型 | 第40-42页 |
| 4.2.1 单晶钨与熔融石英迭代法校准 | 第40-41页 |
| 4.2.2 熔融石英迭代法校准 | 第41-42页 |
| 4.3 两种校准模型的对比分析 | 第42-44页 |
| 4.3.1 纳米压痕性能测试 | 第42页 |
| 4.3.2 纳米压痕性能测试结果分析 | 第42-44页 |
| 4.4 机架柔度与针尖面积函数校准模型对于纳米压痕实验的影响 | 第44-48页 |
| 4.4.1 机架柔度校准模型对于压痕硬度与模量的影响 | 第44-45页 |
| 4.4.2 面积函数校准模型对于压痕硬度和模量的影响 | 第45-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 蓝宝石标物的定值与定值不确定度评定 | 第50-63页 |
| 5.1 纳米压痕仪器校准标物的选择 | 第50-52页 |
| 5.1.1 标物选择的基本要求 | 第50页 |
| 5.1.2 纳米压痕仪标准物质的确定 | 第50-52页 |
| 5.2 均匀性引入的不确定度 | 第52-56页 |
| 5.3 稳定性引入的不确定度 | 第56-58页 |
| 5.4 重复性实验引入的不确定度 | 第58-59页 |
| 5.5 合成不确定度与扩展不确定度 | 第59-60页 |
| 5.5.1 合成不确定度 | 第59-60页 |
| 5.5.2 扩展不确定度 | 第60页 |
| 5.6 蓝宝石标准物质的定值 | 第60-61页 |
| 5.7 本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-71页 |
| 附录A 蓝宝石标物定值实验中仪器引入的不确定度 | 第71-76页 |
| 1. 加载载荷引入的不确定度 | 第71-72页 |
| 2. 针尖面积函数引入的不确定度 | 第72-75页 |
| 3 接触刚度引入的不确定度 | 第75页 |
| 4 仪器引入的不确定度评定汇总 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
