| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 引言 | 第10-11页 |
| 第一章 文献综述 | 第11-23页 |
| 1.1 硬质涂层概况及离子镀技术 | 第11-16页 |
| 1.1.1 硬质涂层的发展 | 第11-12页 |
| 1.1.2 涂层材料的特殊性 | 第12-14页 |
| 1.1.3 涂层制备方法 | 第14-15页 |
| 1.1.4 多弧离子镀 | 第15-16页 |
| 1.2 TiCN涂层的研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3 等离子表面氮化技术 | 第17-20页 |
| 1.3.1 等离子氮化原理 | 第17-19页 |
| 1.3.2 等离子氮化相图 | 第19-20页 |
| 1.4 氮化处理-PVD复合涂层 | 第20-22页 |
| 1.4.1 复合涂层的设计理念 | 第20-21页 |
| 1.4.2 复合涂层研究现状 | 第21-22页 |
| 1.5 本论文研究意义和研究内容 | 第22-23页 |
| 第二章 实验方案及方法 | 第23-31页 |
| 2.1 实验材料 | 第23页 |
| 2.2 氮化基体的制备及工艺设计 | 第23-24页 |
| 2.3 涂层的制备 | 第24-27页 |
| 2.3.1 镀膜设备 | 第24-25页 |
| 2.3.2 基体前处理 | 第25页 |
| 2.3.3 涂层沉积 | 第25-27页 |
| 2.4 涂层微观组织与性能表征 | 第27-31页 |
| 2.4.1 涂层微观结构分析 | 第27-31页 |
| 第三章 不同多弧镀工艺TiN/TiCN涂层组织性能的研究 | 第31-44页 |
| 3.1 组织结构分析 | 第31-34页 |
| 3.1.1 XRD物相分析 | 第31-32页 |
| 3.1.2 涂层化学态分析 | 第32-34页 |
| 3.2 薄膜表面形貌分析 | 第34-35页 |
| 3.3 涂层力学性能分析 | 第35-37页 |
| 3.3.1 涂层维氏硬度分析 | 第35-36页 |
| 3.3.2 涂层结合力分析 | 第36-37页 |
| 3.4 涂层摩擦磨损性能分析 | 第37-43页 |
| 3.4.1 钢球对磨 | 第38-40页 |
| 3.4.2 Al_2O_3球对磨 | 第40-43页 |
| 3.5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 离子氮化对TiN/TiCN涂层组织和性能的影响 | 第44-53页 |
| 4.1 XRD组织结构分析 | 第44-45页 |
| 4.2 涂层力学性能分析 | 第45-47页 |
| 4.2.1 涂层维氏硬度分析 | 第45-46页 |
| 4.2.2 涂层结合力分析 | 第46-47页 |
| 4.3 涂层摩擦磨损性能分析 | 第47-52页 |
| 4.3.1 钢球对磨 | 第47-50页 |
| 4.3.2 Al_2O_3球对磨 | 第50-52页 |
| 4.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 等离子氮碳共渗对TiN/TiCN涂层组织和性能的影响 | 第53-63页 |
| 5.1 XRD组织结构分析 | 第53-54页 |
| 5.2 复合涂层结构分析 | 第54-56页 |
| 5.3 涂层力学性能分析 | 第56-57页 |
| 5.3.1 涂层维氏硬度分析 | 第56页 |
| 5.3.2 涂层结合力分析 | 第56-57页 |
| 5.4 涂层摩擦磨损性能分析 | 第57-62页 |
| 5.4.1 钢球对磨 | 第57-60页 |
| 5.4.2 Al_2O_3球对磨 | 第60-62页 |
| 5.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 在校研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
