| 摘要 | 第4-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| TABLE OF CONTENTS | 第12-14页 |
| 图目录 | 第14-18页 |
| 表目录 | 第18-19页 |
| 主要符号表 | 第19-20页 |
| 1 绪论 | 第20-31页 |
| 1.1 磁探针的研究背景和现状 | 第20-24页 |
| 1.2 反常趋肤效应的研究背景及现状 | 第24-26页 |
| 1.3 脉冲调制射频ICP源的研究背景 | 第26-29页 |
| 1.4 论文内容安排 | 第29-31页 |
| 2 实验系统介绍 | 第31-42页 |
| 2.1 实验装置简述 | 第31-32页 |
| 2.2 实验诊断装置简介 | 第32-42页 |
| 2.2.1 Z-Scan测量系统的介绍 | 第32-34页 |
| 2.2.2 旋片电容型调谐射频磁探针简介 | 第34-40页 |
| 2.2.3 经典Langmuir探针测量原理简介 | 第40-42页 |
| 3 调谐射频磁探针的升级研究及Langmuir探针的改进 | 第42-66页 |
| 3.1 旋片电容型调谐射频磁探针的升级及台面测量 | 第42-54页 |
| 3.1.1 旋片电容型调谐射频磁探针的升级 | 第42-45页 |
| 3.1.2 旋片电容型调谐射频磁探针的对称性补偿 | 第45-48页 |
| 3.1.3 旋片电容型调谐射频磁探针的信噪比测量 | 第48-51页 |
| 3.1.4 旋片电容型调谐射频磁探针的共模电路模型及信噪比讨论 | 第51-54页 |
| 3.2 串联同轴线型调谐射频磁探针 | 第54-62页 |
| 3.2.1 串联同轴线型调谐射频磁探针的制作 | 第55-56页 |
| 3.2.2 射频磁探针的串联同轴线调谐验证 | 第56-58页 |
| 3.2.3 串联同轴线型调谐射频磁探针与ICP源的封装 | 第58页 |
| 3.2.4 串联同轴线型调谐射频磁探针的标定 | 第58-60页 |
| 3.2.5 探头线圈温升对测量的影响 | 第60-62页 |
| 3.3 Langmuir探针的改进 | 第62-65页 |
| 3.3.1 射频补偿探针的制作以及与ICP源的连接 | 第62-64页 |
| 3.3.2 自制射频补偿探针的优点分析 | 第64-65页 |
| 3.4 小结 | 第65-66页 |
| 4 柱面天线射频ICP反常趋肤效应的研究 | 第66-81页 |
| 4.1 等离子体吸收功率对反常趋肤效应的影响 | 第66-71页 |
| 4.2 放电气压对反常趋肤效应的影响 | 第71-75页 |
| 4.3 天线耦合对反常趋肤效应的影响 | 第75-79页 |
| 4.4 小结 | 第79-81页 |
| 5 脉冲射频ICP波形演变研究 | 第81-117页 |
| 5.1 电流探头的测量干扰以及消除方法 | 第81-84页 |
| 5.2 射频ICP源连续放电的正、负反馈区特性 | 第84-98页 |
| 5.2.1 单匝铜带天线射频ICP正、负反馈区特性 | 第85-90页 |
| 5.2.2 两匝铜管天线射频ICP源的反馈区特性 | 第90-98页 |
| 5.3 脉冲射频ICP源的波形演变 | 第98-115页 |
| 5.3.1 脉冲波形在正、负反馈区的波形演变 | 第98-110页 |
| 5.3.2 脉冲关断时间对波形演变的影响 | 第110-113页 |
| 5.3.3 不同天线对脉冲波形演变的影响 | 第113-115页 |
| 5.4 小结 | 第115-117页 |
| 6 结论与展望 | 第117-120页 |
| 6.1 结论与创新点 | 第117-118页 |
| 6.2 创新点摘要 | 第118-119页 |
| 6.3 展望 | 第119-120页 |
| 参考文献 | 第120-129页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第129-130页 |
| 致谢 | 第130-131页 |
| 作者简介 | 第131页 |
