| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 光伏产业发展现状及晶硅光伏技术的主导地位 | 第9-12页 |
| 1.2 太阳电池硅片切割技术 | 第12-15页 |
| 1.2.1 砂浆线锯切割技术 | 第13-14页 |
| 1.2.2 金刚石线锯切割技术 | 第14-15页 |
| 1.3 金刚石线锯切割硅片技术研究与应用状况及存在的问题 | 第15-21页 |
| 1.3.1 国内外金刚石线锯切割多晶硅片技术研究与应用发展现状 | 第15-19页 |
| 1.3.2 金刚石线锯切割多晶硅片技术存在的问题 | 第19-21页 |
| 1.4 本文的研究内容和目的 | 第21-22页 |
| 第二章 金刚石线锯切割多晶硅片表面性质研究 | 第22-37页 |
| 2.1 引言 | 第22页 |
| 2.2 实验方法 | 第22-24页 |
| 2.2.1 实验设备与检测仪器 | 第22-23页 |
| 2.2.2 试样准备 | 第23页 |
| 2.2.3 实验过程 | 第23-24页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第24-35页 |
| 2.3.1 表面形貌、反射率和粗糙度 | 第24-30页 |
| 2.3.2 表面结构组成和表面形貌组成 | 第30-34页 |
| 2.3.3 表面组成和形貌组成的形成机理 | 第34-35页 |
| 2.4 本章小结 | 第35-37页 |
| 第三章 金刚石线锯切割多晶硅片的酸性湿法刻蚀制绒问题 | 第37-65页 |
| 3.1 引言 | 第37页 |
| 3.2 实验方法 | 第37-40页 |
| 3.2.1 主要原料与试剂 | 第37页 |
| 3.2.2 试样准备 | 第37页 |
| 3.2.3 实验设备与检测仪器 | 第37-38页 |
| 3.2.4 实验过程 | 第38-40页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第40-64页 |
| 3.3.1 不同 HF:HNO_3:H_2O 配比条件下的常规湿法酸制绒效果 | 第40-55页 |
| 3.3.2 碱性湿法刻蚀预处理 | 第55-57页 |
| 3.3.3 覆膜预处理 | 第57-64页 |
| 3.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第四章 金刚石线锯切割多晶硅片的气相刻蚀制绒研究 | 第65-88页 |
| 4.1 引言 | 第65-66页 |
| 4.2 实验方法 | 第66-68页 |
| 4.2.1 主要原料与试剂 | 第66页 |
| 4.2.2 试样准备 | 第66页 |
| 4.2.3 实验设备与检测仪器 | 第66页 |
| 4.2.4 实验过程 | 第66-68页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第68-86页 |
| 4.3.1 表观刻蚀速率 | 第68-69页 |
| 4.3.2 表面形貌 | 第69-75页 |
| 4.3.3 粗糙度与减反效果 | 第75-78页 |
| 4.3.4 刻蚀机理与机制 | 第78-86页 |
| 4.4 本章小结 | 第86-88页 |
| 第五章 总结与展望 | 第88-90页 |
| 5.1 研究结论 | 第88-89页 |
| 5.2 本文创新点 | 第89页 |
| 5.3 进一步工作展望 | 第89-90页 |
| 致谢 | 第90-92页 |
| 参考文献 | 第92-102页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第102页 |
