| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第15-29页 |
| 1.1 研究背景 | 第15-16页 |
| 1.2 薄膜制备技术 | 第16-17页 |
| 1.2.1 薄膜制备技术概述 | 第16页 |
| 1.2.2 磁控溅射技术 | 第16-17页 |
| 1.3 Me-B-C-N体系金属硼化物薄膜研究进展 | 第17-25页 |
| 1.3.1 MeB_2薄膜的结构和摩擦学特性 | 第18-19页 |
| 1.3.2 MeBN薄膜的结构和摩擦学特性 | 第19-22页 |
| 1.3.3 MeBC薄膜的结构和摩擦学特性 | 第22-23页 |
| 1.3.4 MeBCN薄膜的结构和摩擦学特性 | 第23-25页 |
| 1.4 水环境中薄膜摩擦学的研究现状 | 第25-27页 |
| 1.5 本文的研究目的和主要内容 | 第27-29页 |
| 1.5.1 本文的研究目的 | 第27-28页 |
| 1.5.2 本文的主要内容 | 第28-29页 |
| 第二章 试验方法 | 第29-36页 |
| 2.1 试验方案 | 第29页 |
| 2.2 试验材料 | 第29-30页 |
| 2.2.1 基材处理 | 第29-30页 |
| 2.2.2 对摩材料与去离子水的制备 | 第30页 |
| 2.3 薄膜制备 | 第30-31页 |
| 2.3.1 磁控溅射设备 | 第30页 |
| 2.3.2 CrB_2薄膜的制备 | 第30-31页 |
| 2.3.3 CrBN薄膜的制备 | 第31页 |
| 2.3.4 CrBCN薄膜的制备 | 第31页 |
| 2.4 薄膜微结构表征 | 第31-32页 |
| 2.4.1 物相结构分析 | 第31-32页 |
| 2.4.2 薄膜化学键分析 | 第32页 |
| 2.4.3 形貌分析 | 第32页 |
| 2.5 薄膜的机械性能分析 | 第32-33页 |
| 2.5.1 薄膜表面粗糙度测试 | 第32-33页 |
| 2.5.2 薄膜与基材结合力的测试 | 第33页 |
| 2.5.3 薄膜硬度与弹性模量的测试 | 第33页 |
| 2.6 薄膜摩擦特性分析 | 第33-35页 |
| 2.6.1 摩擦磨损试验 | 第33-34页 |
| 2.6.2 摩擦磨损试验数据处理 | 第34-35页 |
| 2.7 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 CrB_2薄膜的结构、力学性能及在水中的摩擦特性 | 第36-48页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 CrB_2薄膜的制备方案 | 第36页 |
| 3.3 CrB_2薄膜的成分及结构 | 第36-37页 |
| 3.4 CrB_2薄膜的形貌及力学性能 | 第37-39页 |
| 3.4.1 CrB_2薄膜的形貌分析 | 第37-38页 |
| 3.4.2 CrB_2薄膜的力学性能 | 第38-39页 |
| 3.5 CrB_2薄膜的水润滑摩擦学特性 | 第39-47页 |
| 3.5.1 载荷对CrB_2/SiC摩擦副的摩擦行为的影响 | 第40页 |
| 3.5.2 载荷对CrB_2 /SiC摩擦副的摩擦磨损特性的影响 | 第40-42页 |
| 3.5.3 CrB_2薄膜及SiC球磨痕分析 | 第42-45页 |
| 3.5.4 CrB_2薄膜的摩擦机理分析 | 第45-47页 |
| 3.6 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 CrBN薄膜的结构、力学性能及在水中的摩擦特性 | 第48-69页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 Cr(B)N薄膜的制备方案 | 第48-49页 |
| 4.3 Cr(B)N薄膜的成分及结构 | 第49-51页 |
| 4.4 Cr(B)N薄膜的形貌及力学性能 | 第51-55页 |
| 4.4.1 Cr(B)N薄膜的形貌分析 | 第51-52页 |
| 4.4.2 Cr(B)N薄膜的力学性能分析 | 第52-55页 |
| 4.5 Cr(B)N薄膜的水润滑摩擦学特性 | 第55-67页 |
| 4.5.1 载荷对Cr(B)N /SiC摩擦副的摩擦行为的影响 | 第55-56页 |
| 4.5.2 载荷对Cr(B)N/SiC摩擦副的摩擦磨损特性的影响 | 第56-57页 |
| 4.5.3 Cr(B)N薄膜及SiC球磨痕分析 | 第57-60页 |
| 4.5.4 Cr(B)N薄膜的摩擦机理分析 | 第60-67页 |
| 4.6 本章小结 | 第67-69页 |
| 第五章 CrBCN薄膜的结构、力学性能及在水中的摩擦学特性 | 第69-94页 |
| 5.1 引言 | 第69页 |
| 5.2 不同N_2流量制备的CrBCN薄膜 | 第69-76页 |
| 5.2.1 CrBCN薄膜的制备方案 | 第69-70页 |
| 5.2.2 CrBCN薄膜的成分及结构 | 第70-71页 |
| 5.2.3 CrBCN薄膜的形貌及力学性能分析 | 第71-74页 |
| 5.2.4 CrBCN薄膜的水润滑摩擦特性分析 | 第74-76页 |
| 5.3 不同B4C靶材功率制备的CrBCN薄膜 | 第76-83页 |
| 5.3.1 CrBCN薄膜的制备方案 | 第76-77页 |
| 5.3.2 CrBCN薄膜的成分及结构 | 第77-78页 |
| 5.3.3 CrBCN薄膜的形貌及力学性能分析 | 第78-81页 |
| 5.3.4 CrBCN薄膜的水润滑摩擦特性分析 | 第81-83页 |
| 5.4 不同基材偏压制备的CrBCN薄膜 | 第83-91页 |
| 5.4.1 CrBCN薄膜的制备方案 | 第83-84页 |
| 5.4.2 CrBCN薄膜的成分及结构 | 第84-86页 |
| 5.4.3 CrBCN薄膜的形貌及力学性能分析 | 第86-88页 |
| 5.4.4 CrBCN薄膜的水润滑摩擦特性分析 | 第88-91页 |
| 5.5 CrBCN薄膜的摩擦机理分析 | 第91-92页 |
| 5.6 本章小结 | 第92-94页 |
| 第六章 总结与展望 | 第94-96页 |
| 6.1 总结 | 第94-95页 |
| 6.2 展望 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-105页 |
| 致谢 | 第105-106页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第106页 |
