| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-14页 |
| 1.2.1 国外研究状况 | 第11-13页 |
| 1.2.2 国内研究状况 | 第13-14页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第14-15页 |
| 2 平行板电容式湿敏元件及其感湿机理 | 第15-21页 |
| 2.1 湿敏元件特性参数 | 第15-17页 |
| 2.2 湿敏元件的分类 | 第17-18页 |
| 2.2.1 电解质型湿敏元件 | 第17页 |
| 2.2.2 陶瓷型湿敏元件 | 第17页 |
| 2.2.3 高分子聚合物型湿敏元件 | 第17-18页 |
| 2.3 平行板电容式湿敏元件感湿机理 | 第18-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 多孔上电极平行板电容式湿敏元件及其动态特性数值模拟 | 第21-36页 |
| 3.1 数值计算思路 | 第21-22页 |
| 3.2 物理模型 | 第22-23页 |
| 3.3 数学模型 | 第23-24页 |
| 3.4 数值模拟方法 | 第24-25页 |
| 3.4.1 网格划分 | 第24-25页 |
| 3.4.2 初始条件和边界条件 | 第25页 |
| 3.5 数值模拟结果与分析 | 第25-35页 |
| 3.5.1 网格独立性验证 | 第25-26页 |
| 3.5.2 数值模拟方法有效性验证 | 第26-30页 |
| 3.5.3 孔间距对湿敏元件动态响应特性的影响 | 第30页 |
| 3.5.4 薄膜厚度对湿敏元件动态响应特性的影响 | 第30-31页 |
| 3.5.5 上电极孔半径对湿敏元件动态响应特性的影响 | 第31-32页 |
| 3.5.6 有效扩散系数对湿敏元件动态响应特性的影响 | 第32-35页 |
| 3.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 4 多孔上电极平行板电容式湿敏元件的制造 | 第36-40页 |
| 4.1 湿敏元件的设计 | 第36页 |
| 4.2 湿敏元件的工艺制造 | 第36-39页 |
| 4.3 本章小结 | 第39-40页 |
| 5 多孔上电极平行板电容式湿敏元件的湿敏特性测试 | 第40-54页 |
| 5.1 静态实验装置与测试方法 | 第40-43页 |
| 5.1.1 湿度发生系统的选择 | 第40-41页 |
| 5.1.2 静态测试装置 | 第41-42页 |
| 5.1.3 静态测试方法 | 第42-43页 |
| 5.2 静态测试数据与分析 | 第43-49页 |
| 5.2.1 实验测试数据 | 第43-44页 |
| 5.2.2 感湿特性曲线 | 第44-45页 |
| 5.2.3 电容、湿度-温度特性 | 第45-47页 |
| 5.2.4 线性度、灵敏度、湿滞 | 第47-48页 |
| 5.2.5 长期稳定性 | 第48-49页 |
| 5.3 动态测试实验装置与方法 | 第49-51页 |
| 5.3.1 动态测试装置 | 第49-50页 |
| 5.3.2 动态测试方法 | 第50-51页 |
| 5.4 动态实验数据与分析 | 第51-53页 |
| 5.5 本章小结 | 第53-54页 |
| 6 结论与展望 | 第54-56页 |
| 6.1 结论 | 第54-55页 |
| 6.2 论文的主要创新点 | 第55页 |
| 6.3 展望 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第60页 |
