压电悬臂梁式质量传感器结构设计

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-16页
·引言	第8页
·压电悬臂梁传感器的工作原理	第8-11页
·压电悬臂梁传感器的工作方式	第8-9页
·双层压电悬臂梁传感器的结构及工作原理	第9-10页
·单层压电悬臂梁的结构及工作原理	第10-11页
·压电悬臂梁传感器的评价指标-品质因数	第11页
·悬臂梁传感器的共振频率	第11-13页
·悬臂梁在气体中的振动频率	第11-12页
·悬臂梁传感器在液体中的共振频率	第12-13页
·压电悬臂梁传感器的发展状况	第13-14页
·悬臂梁传感器的应用	第14-15页
·本文主要的研究工作	第15-16页
2 压电材料及压电悬臂梁传感器的检测方式	第16-24页
·压电效应	第16页
·压电材料	第16-18页
·压电材料的几种连接方式	第18-20页
·悬臂梁传感器的检测方法	第20-24页
3 压电悬臂梁传感器的结构优化设计	第24-46页
·悬臂梁传感器灵敏度推导	第24-26页
·压电悬臂梁传感器的优化设计	第26-46页
·对延伸部分的长度l_2进行优化	第26-33页
·压电悬臂梁传感器结构优化设计	第33-46页
4 压电悬臂梁传感器的实验测试与分析	第46-56页
·压电悬臂梁传感器的动态性能测试原理	第46页
·实验结果与理论对比	第46-56页
·矩形梁的实验	第46-48页
·0.5mm厚的工字型梁实验	第48-53页
·0.4mm厚工字型梁实验	第53-56页
结论	第56-57页
参考文献	第57-60页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第60-61页
致谢	第61-62页