碳纳米管互连性能与电镀机理研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-19页 |
| 1.1 研究背景以及意义 | 第15-17页 |
| 1.2 本论文的工作安排 | 第17-19页 |
| 第二章 碳纳米管的力学性能与仿真 | 第19-41页 |
| 2.1 碳纳米管的力学特性 | 第19-22页 |
| 2.1.1 碳纳米管的生长方法 | 第19-21页 |
| 2.1.2 碳纳米管的结构力学分析 | 第21页 |
| 2.1.3 有限元分析方法 | 第21-22页 |
| 2.2 杨氏模量与力场 | 第22-25页 |
| 2.2.1 杨氏模量的测量 | 第22-23页 |
| 2.2.2 分子力学的原理 | 第23-24页 |
| 2.2.3 连续对势函数 | 第24-25页 |
| 2.3 碳纳米管的力场以及仿真 | 第25-29页 |
| 2.3.1 力场 | 第25-28页 |
| 2.3.2 弹性梁模型 | 第28-29页 |
| 2.4 Ansys仿真结果与小结 | 第29-39页 |
| 2.4.1 碳纳米管的微梁结构仿真 | 第29-30页 |
| 2.4.2 杨氏模量和泊松比的计算 | 第30-31页 |
| 2.4.3 不同状态碳纳米管的仿真结果 | 第31-35页 |
| 2.4.4 不同碳纳米管用于TSV的应力仿真 | 第35-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 碳纳米管的电路模型 | 第41-51页 |
| 3.1 引言 | 第41页 |
| 3.3 碳纳米管的电路模拟 | 第41-50页 |
| 3.3.1 碳纳米管的电导模型 | 第42-43页 |
| 3.3.2 碳纳米管的寄生电学模型 | 第43-44页 |
| 3.3.3 碳纳米管的电容电感模型 | 第44-46页 |
| 3.3.4 碳纳米管的互连模型 | 第46-47页 |
| 3.3.5 碳纳米管与金属接触模型 | 第47-50页 |
| 3.4 小结 | 第50-51页 |
| 第四章 碳纳米管的电泳模型与仿真 | 第51-65页 |
| 4.1 碳纳米管电泳基本原理 | 第51-53页 |
| 4.1.1 电泳原理 | 第51页 |
| 4.1.2 介电泳原理 | 第51-53页 |
| 4.2 碳纳米管的定向排布的仿真 | 第53-57页 |
| 4.3 碳纳米管的水溶液中运动模拟 | 第57-59页 |
| 4.4 质心位置与系统自由能的关系 | 第59-61页 |
| 4.5 碳纳米管在电泳中的行为 | 第61-63页 |
| 4.6 仿真结果与讨论 | 第63-65页 |
| 第五章 碳纳米管的极化建模 | 第65-75页 |
| 5.1 布洛赫定理 | 第65-67页 |
| 5.2 单壁碳纳米管的极性研究 | 第67-73页 |
| 5.3 计算结果与讨论 | 第73-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-79页 |
| 6.1 总结 | 第75-76页 |
| 6.2 展望 | 第76-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 作者简介 | 第85-86页 |
