| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 课题的来源及研究背景和目的 | 第11-12页 |
| 1.1.1 课题的来源 | 第11页 |
| 1.1.2 课题的背景 | 第11-12页 |
| 1.1.3 研究目的 | 第12页 |
| 1.2 高真空金属单晶体生长炉的概述 | 第12页 |
| 1.3 高真空金属单晶体生长炉的国内外研究现状 | 第12-16页 |
| 1.3.1 国外的研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3.2 国内的研究现状 | 第15-16页 |
| 1.4 金属晶体的生长方法 | 第16-18页 |
| 1.5 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 1.6 本章小结 | 第19-20页 |
| 第2章 高真空金属单晶体生长炉的整体设计 | 第20-36页 |
| 2.1 高真空金属单晶体生长设备概述 | 第20页 |
| 2.2 生长炉总体设计 | 第20-23页 |
| 2.2.1 生长炉的设计要求 | 第20-21页 |
| 2.2.2 生长炉设计依据 | 第21页 |
| 2.2.3 设计参数 | 第21-22页 |
| 2.2.4 生长炉的结构设计 | 第22-23页 |
| 2.3 试件移动机构设计 | 第23-28页 |
| 2.3.1 移动机构的电机选择 | 第24-26页 |
| 2.3.2 移动机构的传动零件计算 | 第26-28页 |
| 2.4 真空系统设计 | 第28-35页 |
| 2.4.1 真空室的设计要求 | 第28-29页 |
| 2.4.2 真空室的结构 | 第29-31页 |
| 2.4.3 真空室材料的选择 | 第31-32页 |
| 2.4.4 真空泵的选择 | 第32-33页 |
| 2.4.5 冷却系统 | 第33-34页 |
| 2.4.6 氩气保护系统 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 生长炉热分析的理论基础 | 第36-49页 |
| 3.1 有限元法与有限元软件 | 第36-39页 |
| 3.1.1 有限元法 | 第36-38页 |
| 3.1.2 有限元软件ANSYS Workbench的介绍 | 第38-39页 |
| 3.2 热分析模块 | 第39-44页 |
| 3.2.1 热传导方式的数学方程 | 第39-42页 |
| 3.2.2 载荷处理 | 第42-44页 |
| 3.3 热应力的理论基础 | 第44-48页 |
| 3.3.1 热弹性理论的数学方程 | 第44-46页 |
| 3.3.2 热应力的求解方程 | 第46-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 单晶体生长炉的热分析与研究 | 第49-59页 |
| 4.1 生长炉三维模型的建立 | 第49-51页 |
| 4.2 生长炉有限元模型的建立 | 第51-52页 |
| 4.2.1 有限元建模的准则 | 第51页 |
| 4.2.2 网格划分 | 第51-52页 |
| 4.3 单晶体生长炉的热分析 | 第52-56页 |
| 4.3.1 单晶体生长炉的热分析目的 | 第52-53页 |
| 4.3.2 基于workbench的生长炉温度场分析 | 第53-56页 |
| 4.4 生长炉结构改进设计 | 第56-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 生长炉的温度控制系统 | 第59-67页 |
| 5.1 控制系统工作原理及作用 | 第59-60页 |
| 5.2 PLC控制设计 | 第60-65页 |
| 5.2.1 PLC软件介绍 | 第60-61页 |
| 5.2.2 PID控制算法 | 第61-62页 |
| 5.2.3 PLC温度控制设计 | 第62-65页 |
| 5.3 加热元件 | 第65-66页 |
| 5.4 本章小结 | 第66-67页 |
| 第6章 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-70页 |
| 在学期间研究成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |