| 中文摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 字母注释表 | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-21页 |
| 1.1 微机电系统概述 | 第13-14页 |
| 1.2 微机电系统发展概况 | 第14-15页 |
| 1.3 微梳状结构介绍及发展状况 | 第15-17页 |
| 1.3.1 传感器 | 第16-17页 |
| 1.3.2 执行器 | 第17页 |
| 1.4 微梳状结构动力学研究背景 | 第17-18页 |
| 1.5 时滞控制在微机电系统中的应用 | 第18-19页 |
| 1.6 本文的主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 微梳状驱动器静电驱动原理 | 第21-31页 |
| 2.1 微机械静电驱动基础 | 第21-25页 |
| 2.2 微梳状驱动器静电力分析计算 | 第25-29页 |
| 2.2.1 横向电容产生的静电力计算 | 第25-27页 |
| 2.2.2 纵向电容产生的静电力计算 | 第27-28页 |
| 2.2.3 微梳状结构整体静电力分析 | 第28-29页 |
| 2.3 静电力对结构刚度的影响 | 第29-31页 |
| 第三章 微梳状驱动器动力学模型 | 第31-42页 |
| 3.1 梳状驱动器结构振动参数分析 | 第31-34页 |
| 3.2 微梳状驱动器结构动力学求解 | 第34-37页 |
| 3.3 微梳状驱动器非线性振动特性研究 | 第37-42页 |
| 3.3.1 直流偏置电压对微梳状结构刚度的影响 | 第37-39页 |
| 3.3.2 驱动电压对系统幅频响应的影响 | 第39-40页 |
| 3.3.3 结构参数对系统幅频响应的影响 | 第40-42页 |
| 第四章 时滞控制下的微梳状驱动器动力学研究 | 第42-55页 |
| 4.1 时滞影响下的微梳状驱动器模型的表达 | 第42-44页 |
| 4.2 多尺度法求解 | 第44-46页 |
| 4.3 理论分析和数值仿真 | 第46-51页 |
| 4.3.1 时滞因素对系统平衡稳定性的影响 | 第46-48页 |
| 4.3.2 时滞因素对不同梳齿个数的幅频响应的影响 | 第48-50页 |
| 4.3.3 时滞因素对不同直流电压V_(dc)的幅频响应的影响 | 第50-51页 |
| 4.4 第二种位移时滞控制微梳状驱动器非线性振动 | 第51-54页 |
| 4.5 本章总结 | 第54-55页 |
| 第五章 全文总结和展望 | 第55-57页 |
| 5.1 全文总结 | 第55-56页 |
| 5.2 微梳状驱动器研究的不足及展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-62页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |