首页--工业技术论文--化学工业论文--电热工业、高温制品工业论文--人造宝石、合成宝石的生产论文

移动智能终端用蓝宝石的表面抗反射与自清洁研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
第1章 绪论第9-23页
    1.1 课题研究的背景及意义第9-10页
    1.2 蓝宝石改性的研究现状第10-15页
        1.2.1 增透膜系研究现状第10-12页
        1.2.2 亚波长结构研究现状第12-14页
        1.2.3 蓝宝石表面润湿性能的研究第14-15页
    1.3 抗反射结构的制备方法第15-19页
        1.3.1 增透薄膜的制备方法第15-17页
        1.3.2 亚波长微纳结构的制备方法第17-19页
    1.4 掩膜的选择第19-21页
        1.4.1 光刻胶掩膜第19-20页
        1.4.2 金属岛状颗粒掩膜第20-21页
        1.4.3 AAO掩膜第21页
    1.5 本文研究的主要内容第21-23页
第2章 蓝宝石抗反射结构的制备及表征方法第23-29页
    2.1 引言第23页
    2.2 抗反射结构的设计第23-24页
        2.2.1 Essential Macleod软件的介绍第23-24页
        2.2.2 Rsoft软件基本功能的介绍第24页
    2.3 抗反射结构的制备第24-26页
        2.3.1 SiO_2/ HfO_2增透膜系的制备方法第24-25页
        2.3.2 亚波长结构的制备方法第25-26页
    2.4 抗反射结构的测试分析方法第26-28页
    2.5 本章小结第28-29页
第3章 增透膜系的制备及性能第29-40页
    3.1 引言第29页
    3.2 SiO_2/ HfO_2膜层厚度的优化第29-31页
        3.2.1 HfO_2薄膜厚度变化对蓝宝石透过率的影响第30页
        3.2.2 材料结构偏差对增透膜增透性能的影响第30-31页
    3.3 增透膜系的制备第31-33页
        3.3.1 溅射工艺参数第31-32页
        3.3.2 沉积速率的测定第32-33页
    3.4 退火处理对薄膜结晶性以及成分的影响第33-35页
        3.4.1 退火处理对薄膜结晶性的影响第33页
        3.4.2 退火处理对薄膜成分的影响第33-35页
    3.5 中间层厚度变化对增透膜性能的影响第35-39页
        3.5.1 中间层厚度变化对透光率的影响第35-36页
        3.5.2 中间层厚度变化对薄膜间结合力的影响第36-38页
        3.5.3 中间层厚度变化对薄膜结晶性的影响第38-39页
    3.6 本章小结第39-40页
第4章 蓝宝石表面亚波长结构的制备性能研究第40-58页
    4.1 引言第40页
    4.2 亚波长结构的模拟第40-43页
        4.2.1 亚波长最佳结构参数的模拟第40-43页
        4.2.2 亚波长结构参数改变对透过率的影响第43页
    4.3 AAO掩膜的制备第43-45页
    4.4 刻蚀工艺研究第45-52页
        4.4.1 刻蚀气体的选择第45-46页
        4.4.2 刻蚀功率对刻蚀效果的影响第46-48页
        4.4.3 气体组分对刻蚀效果的影响第48-50页
        4.4.4 刻蚀气压对刻蚀效果的影响第50-52页
    4.5 固相外延第52-55页
        4.5.1 亚波长图形的结构和形貌第52-55页
    4.6 亚波长结构的性能第55-57页
        4.6.1 亚波长结构对蓝宝石透过率的影响第55页
        4.6.2 亚波长结构对蓝宝石润湿性的影响第55-57页
    4.7 本章小结第57-58页
结论第58-59页
参考文献第59-65页
致谢第65页

论文共65页,点击 下载论文
上一篇:城市智能交通管理系统的设计与实现
下一篇:无线传感器网络室内环境监测系统的设计与实现