| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 柔性压力传感器的研究现状及发展 | 第9-14页 |
| 1.2.1 柔性压力传感器的类型 | 第9-12页 |
| 1.2.2 柔性压力传感器的性能指标 | 第12-14页 |
| 1.3 基于微结构的柔性压力传感器 | 第14-16页 |
| 1.4 柔性压力传感器在脉搏传感方面应用 | 第16-18页 |
| 1.5 选题的意义及内容 | 第18-20页 |
| 参考文献 | 第20-24页 |
| 第二章 多层次微结构柔性压力传感器的设计及制备工艺研究 | 第24-30页 |
| 2.1 引言 | 第24页 |
| 2.2 多层次微结构电容型柔性压力传感器设计 | 第24-25页 |
| 2.3 实验部分 | 第25-27页 |
| 2.3.1 实验材料、试剂及仪器 | 第25-26页 |
| 2.3.2 多层次微结构电容型压力传感器制作工艺流程 | 第26-27页 |
| 2.4 实验结果及表征 | 第27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-29页 |
| 参考文献 | 第29-30页 |
| 第三章 基于微结构的Abaqus有限元分析 | 第30-39页 |
| 3.1 Abaqus有限元分析软件概述 | 第30-32页 |
| 3.1.1 Abaqus产品介绍 | 第30页 |
| 3.1.2 超弹性材料及Neo-Hookean模型 | 第30-32页 |
| 3.2 金字塔形微结构的受力应变分析 | 第32-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 参考文献 | 第37-39页 |
| 第四章 传感器性能分析及应用研究 | 第39-52页 |
| 4.1 引言 | 第39页 |
| 4.2 测试系统搭建 | 第39-40页 |
| 4.3 微结构电极的表征 | 第40-41页 |
| 4.4 多层次微结构对传感器性能影响 | 第41-44页 |
| 4.4.1 微结构层次数对传感器性能影响 | 第41-42页 |
| 4.4.2 不同层次微结构数量比对传感器性能影响 | 第42-44页 |
| 4.5 传感器各项性能研究 | 第44-48页 |
| 4.5.1 传感器压力检测下限研究 | 第44页 |
| 4.5.2 传感器响应时间研究 | 第44-45页 |
| 4.5.3 传感器可重复性及稳定性研究 | 第45-47页 |
| 4.5.4 传感器各项性能优势 | 第47-48页 |
| 4.6 无背景压力脉搏传感 | 第48-49页 |
| 4.7 本章小结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |
| 第五章 结论与展望 | 第52-54页 |
| 5.1 结论 | 第52-53页 |
| 5.2 展望 | 第53-54页 |
| 攻读硕士期间发表的研究成果 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
