三维磁传感器模型构建与集成化研究
| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-28页 |
| 1.1 基于霍尔元件三维磁传感器研究现状 | 第9-15页 |
| 1.2 基于微线圈结构三维磁传感器研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 基于磁敏三极管三维磁传感器研究现状 | 第17-21页 |
| 1.4 三维磁传感器应用研究 | 第21-26页 |
| 1.5 三维磁传感器研究目的和研究意义 | 第26-27页 |
| 1.5.1 研究目的 | 第26页 |
| 1.5.2 研究意义 | 第26-27页 |
| 1.6 论文主要研究内容 | 第27-28页 |
| 第2章 三维磁传感器基本结构与工作原理 | 第28-37页 |
| 2.1 三维磁传感器基本结构 | 第28-30页 |
| 2.1.1 x方向和y方向磁敏感结构 | 第29页 |
| 2.1.2 z方向磁敏结构 | 第29-30页 |
| 2.2 三维磁传感器工作原理 | 第30-36页 |
| 2.2.1 x方向磁传感器工作原理 | 第31-32页 |
| 2.2.2 y方向磁传感器工作原理 | 第32-33页 |
| 2.2.3 z方向磁传感器工作原理 | 第33-35页 |
| 2.2.4 三维磁传感器工作原理讨论 | 第35-36页 |
| 2.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 三维磁传感器特性仿真 | 第37-43页 |
| 3.1 x方向和y方向磁传感器特性仿真 | 第37-40页 |
| 3.1.1 硅磁敏三极管结构仿真模型 | 第37-38页 |
| 3.1.2 硅磁敏三极管结构仿真结果 | 第38-40页 |
| 3.2 z方向磁传感器特性仿真 | 第40-42页 |
| 3.2.1 磁传感器特性仿真模型 | 第40-41页 |
| 3.2.2 磁传感器仿真结果 | 第41-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 三维磁传感器结构设计和集成化制作工艺 | 第43-50页 |
| 4.1 组合型三维磁传感器特性分析 | 第43-46页 |
| 4.2 三维磁传感器芯片设计 | 第46页 |
| 4.3 三维磁传感器制作工艺 | 第46-47页 |
| 4.4 三维磁传感器芯片封装 | 第47-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 实验结果与讨论 | 第50-71页 |
| 5.1 x方向和y方向磁传感器特性 | 第50-59页 |
| 5.1.1 硅磁敏三极管I-V特性 | 第50-53页 |
| 5.1.2 硅磁敏三极管磁敏特性 | 第53-55页 |
| 5.1.3 x方向和y方向磁传感器静态特性 | 第55-59页 |
| 5.2 z方向磁传感器特性 | 第59-64页 |
| 5.2.1 掺杂浓度对霍尔磁传感器特性的影响 | 第59-60页 |
| 5.2.2 z方向霍尔磁传感器静态特性 | 第60-64页 |
| 5.3 三维磁传感器特性 | 第64-70页 |
| 5.3.1 xy平面内沿z轴旋转 | 第64-65页 |
| 5.3.2 xz平面内沿y轴旋转 | 第65-67页 |
| 5.3.3 yz平面内沿x轴旋转 | 第67-68页 |
| 5.3.4 沿面对角线旋转 | 第68-69页 |
| 5.3.5 沿体对角线旋转 | 第69-70页 |
| 5.4 小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第79页 |
| 攻读学位期间科研项目 | 第79页 |
| 攻读学位期间申请发明专利 | 第79页 |
