| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-37页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| 1.2 EFPI微型光纤声压传感器研究现状 | 第15-27页 |
| 1.2.1 声压敏感膜片材料研究现状 | 第16-22页 |
| 1.2.2 声压传感结构研究现状 | 第22-25页 |
| 1.2.3 EFPI光纤水听器研究现状 | 第25-27页 |
| 1.3 EFPI微型光纤传感器解调技术研究 | 第27-34页 |
| 1.3.1 强度解调 | 第27-30页 |
| 1.3.2 相位解调 | 第30-34页 |
| 1.4 本研究领域存在的关键技术问题和科学问题 | 第34-35页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第35-37页 |
| 第2章 EFPI光纤声压传感器光学原理分析 | 第37-51页 |
| 2.1 引言 | 第37页 |
| 2.2 F-P干涉仪基本原理 | 第37-40页 |
| 2.2.1 标准F-P腔的干涉谱分析 | 第37-39页 |
| 2.2.2 光纤F-P腔的干涉谱分析 | 第39-40页 |
| 2.3 光束传输损耗模型分析 | 第40-48页 |
| 2.3.1 间隔损耗理论分析及实验验证 | 第41-45页 |
| 2.3.2 倾斜、错位损耗理论分析 | 第45-46页 |
| 2.3.3 传输损耗对干涉条纹影响 | 第46-48页 |
| 2.4 信号解调算法简介 | 第48-50页 |
| 2.4.1 强度解调基本原理 | 第48-49页 |
| 2.4.2 相位解调基本原理 | 第49-50页 |
| 2.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第3章 EFPI光纤声压传感器力学原理分析 | 第51-85页 |
| 3.1 引言 | 第51页 |
| 3.2 膜片振动性能分析 | 第51-62页 |
| 3.2.1 自由振动的解 | 第52-54页 |
| 3.2.2 受迫振动的解 | 第54-55页 |
| 3.2.3 特殊情形的解 | 第55-59页 |
| 3.2.4 纹膜振动性能分析 | 第59-62页 |
| 3.3 EFPI光纤声压传感器的等效电路模型 | 第62-71页 |
| 3.3.1 电-力-声线路类比 | 第62-67页 |
| 3.3.2 声学元件阻抗表达式 | 第67-71页 |
| 3.4 EFPI光纤声压传感器的声学性能仿真 | 第71-84页 |
| 3.4.1 膜片半径对传感器性能的影响 | 第73-74页 |
| 3.4.2 膜片厚度对传感器性能的影响 | 第74-76页 |
| 3.4.3 腔体大小对传感器性能的影响 | 第76-77页 |
| 3.4.4 膜片内应力对传感器性能的影响 | 第77-78页 |
| 3.4.5 连通孔尺寸对传感器性能的影响 | 第78-81页 |
| 3.4.6 空气腔对水听器的增敏作用研究 | 第81-82页 |
| 3.4.7 常见膜片材料对传感器性能的影响 | 第82-84页 |
| 3.5 本章小结 | 第84-85页 |
| 第4章 EFPI光纤声压传感器设计与制作 | 第85-103页 |
| 4.1 引言 | 第85页 |
| 4.2 基于牺牲层工艺的声压敏感膜片加工技术研究 | 第85-91页 |
| 4.2.1 金属平膜加工 | 第86-89页 |
| 4.2.2 金属纹膜加工 | 第89-91页 |
| 4.3 EFPI光纤麦克风结构设计与制作 | 第91-97页 |
| 4.3.1 同轴型EFPI光纤麦克风制作 | 第91-93页 |
| 4.3.2 垂直轴型EFPI光纤麦克风制作 | 第93-95页 |
| 4.3.3 长腔长EFPI光纤麦克风设计与制作 | 第95-97页 |
| 4.4 EFPI光纤水听器结构设计与制作 | 第97-101页 |
| 4.4.1 微型水听器结构设计 | 第98-100页 |
| 4.4.2 微型水听器加工结果 | 第100-101页 |
| 4.5 本章小结 | 第101-103页 |
| 第5章 EFPI光纤声压传感器性能测试 | 第103-132页 |
| 5.1 引言 | 第103页 |
| 5.2 声学实验测试原理、装置及方法介绍 | 第103-112页 |
| 5.2.1 光纤传感器信号解调装置 | 第103-106页 |
| 5.2.2 声学实验测试装置 | 第106-109页 |
| 5.2.3 光纤传感器测量参数简介 | 第109-112页 |
| 5.3 EFPI光纤麦克风声学性能测试 | 第112-122页 |
| 5.3.1 同轴型平膜EFPI光纤麦克风测试结果 | 第112-114页 |
| 5.3.2 同轴型纹膜EFPI光纤麦克风测试结果 | 第114-117页 |
| 5.3.3 垂直轴型EFPI光纤麦克风测试结果 | 第117-119页 |
| 5.3.4 长腔长EFPI光纤麦克风性能测试结果 | 第119-122页 |
| 5.4 EFPI光纤水听器声学性能测试 | 第122-131页 |
| 5.4.1 水腔PET膜EFPI光纤水听器性能测试 | 第122-124页 |
| 5.4.2 空气腔PET膜片EFPI光纤水听器性能测试 | 第124-128页 |
| 5.4.3 基于银薄膜的EFPI水听器性能测试 | 第128-131页 |
| 5.5 本章小结 | 第131-132页 |
| 结论 | 第132-135页 |
| 参考文献 | 第135-149页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第149-152页 |
| 致谢 | 第152-153页 |
| 附录 | 第153-157页 |
| 个人简历 | 第157页 |