| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| §1.1 太赫兹简介 | 第8-10页 |
| §1.2 超材料概述 | 第10-11页 |
| §1.3 太赫兹滤波器简介 | 第11页 |
| §1.4 本论文的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 第二章 基于微机电系统的静电梳齿驱动器 | 第12-20页 |
| §2.1 序言 | 第12页 |
| §2.2 静电梳齿驱动器 | 第12-17页 |
| §2.2.1 静电驱动原理 | 第13-14页 |
| §2.2.2 设计理论 | 第14-16页 |
| §2.2.3 建模与仿真 | 第16-17页 |
| §2.3 本章小结 | 第17-20页 |
| 第三章 基于静电驱动可重构超材料的可调太赫兹带阻滤波器 | 第20-32页 |
| §3.1 序言 | 第20-23页 |
| §3.1.1 温控太赫兹可调滤波器 | 第20-21页 |
| §3.1.2 磁控太赫兹可调滤波器 | 第21页 |
| §3.1.3 光控太赫兹可调滤波器 | 第21-22页 |
| §3.1.4 电控太赫兹可调滤波器 | 第22-23页 |
| §3.2 结构设计与仿真 | 第23-26页 |
| §3.2.1 滤波器的设计 | 第23-25页 |
| §3.2.2 滤波器的滤波机理 | 第25-26页 |
| §3.3 结构参数对滤波性能的影响 | 第26-30页 |
| §3.3.1 间距d的影响 | 第26-27页 |
| §3.3.2 倒梯形环结构宽度W2的影响 | 第27-28页 |
| §3.3.3 倒梯形环底角θ的影响 | 第28-29页 |
| §3.3.4 周期单元行距D3的影响 | 第29-30页 |
| §3.4 静电驱动特性 | 第30-31页 |
| §3.5 结论 | 第31-32页 |
| 第四章 基于静电驱动可重构超材料的可调太赫兹带通滤波器 | 第32-50页 |
| §4.1 序言 | 第32-35页 |
| §4.2 滤波器结构设计与仿真 | 第35-38页 |
| §4.3 结构参数对滤波性能的影响 | 第38-42页 |
| §4.3.1 上开口环开口大小的影响 | 第38-39页 |
| §4.3.2 下开口环开口大小的影响 | 第39-40页 |
| §4.3.3 可动横杆宽度的影响 | 第40-42页 |
| §4.4 滤波器幅值可调机理 | 第42-43页 |
| §4.5 静电驱动特性 | 第43-44页 |
| §4.6 样片加工方法 | 第44-47页 |
| §4.7 可调滤波器样片的性能测试 | 第47-49页 |
| §4.8 结论 | 第49-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-52页 |
| §5.1 总结 | 第50-51页 |
| §5.2 展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第58页 |