金刚线切多晶黑硅的制备及性能研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-28页 |
| 1.1 引言 | 第8-10页 |
| 1.2 太阳能电池的研究历史和发展状况 | 第10-12页 |
| 1.3 晶体硅太阳能电池器件及其工作原理 | 第12-17页 |
| 1.3.1 晶体硅太阳能电池器件结构 | 第12-16页 |
| 1.3.2 晶体硅太阳能电池制备工艺 | 第16-17页 |
| 1.4 多晶硅太阳能电池的制绒 | 第17-19页 |
| 1.5 金刚线切片技术的发展 | 第19-21页 |
| 1.6 黑硅的发展及制备工艺 | 第21-25页 |
| 1.7 本文研究的内容及意义 | 第25-28页 |
| 第二章 实验设备和研究方法 | 第28-36页 |
| 2.1 湿法刻蚀机 | 第28-29页 |
| 2.2 等离子体增强化学气相沉积法-PECVD | 第29-30页 |
| 2.3 表面性质表征技术 | 第30-33页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜(SEM) | 第30-31页 |
| 2.3.2 四探针仪 | 第31-32页 |
| 2.3.3 紫外-可见光-近红外分光光度计 | 第32-33页 |
| 2.4 全自动太阳能电池IV特性测量和分选系统 | 第33-36页 |
| 第三章 金属银催化刻蚀制备黑硅 | 第36-51页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 黑硅的制备机制及性能研究 | 第36-49页 |
| 3.2.1 黑硅的制备机制 | 第36-41页 |
| 3.2.2 黑硅的形貌表征及性能研究 | 第41-49页 |
| 3.3 小结 | 第49-51页 |
| 第四章 黑硅结构的优化及性能研究 | 第51-60页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 溶液浓度对黑硅结构优化的研究 | 第51-58页 |
| 4.2.1 黑硅结构优化的机制研究 | 第51-53页 |
| 4.2.2 碱浓度对黑硅结构优化的影响 | 第53-54页 |
| 4.2.3 IPA浓度对黑硅结构优化的影响 | 第54-56页 |
| 4.2.4 反应时间对黑硅结构优化的影响 | 第56-57页 |
| 4.2.5 反应温度对黑硅结构优化的影响 | 第57-58页 |
| 4.3 小结 | 第58-60页 |
| 第五章 黑硅常规多晶太阳能电池的制备及性能研究 | 第60-67页 |
| 5.1 引言 | 第60页 |
| 5.2 黑硅常规多晶太阳能电池的制备工艺 | 第60-61页 |
| 5.3 黑硅常规多晶太阳能电池的性能分析 | 第61-66页 |
| 5.4 小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结及展望 | 第67-70页 |
| 参考文献 | 第70-75页 |
| 个人简历及发表文章目录 | 第75-76页 |
| 致谢 | 第76-78页 |
