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氧化锌纳米结构场效应晶体管与光探测器件的研究

致谢第6-7页
摘要第7-9页
Abstract第9-11页
第1章 绪论第15-41页
    1.1 氧化锌基本性质第16-19页
    1.2 氧化锌纳米结构制备第19-26页
        1.2.1 气相制备法第19-23页
        1.2.2 溶液合成法第23-26页
    1.3 氧化锌纳米结构的物理特性与应用第26-35页
        1.3.1 发光与电学特性第26-30页
        1.3.2 光探测器件第30-33页
        1.3.3 气敏器件第33-35页
    1.4 MOS场效应晶体管原理与性能表征第35-39页
        1.4.1 MOS场效应晶体管基本原理第35-38页
        1.4.2 MOS场效应晶体管电学性能表征第38-39页
    1.5 本文主要研究内容与思路第39-41页
第2章 介电层对氧化锌场效应晶体管的影响研究第41-61页
    2.1 引言第41页
    2.2 实验方法第41-50页
        2.2.1 氧化锌纳米线的生长第41-43页
        2.2.2 样品结构表征第43-47页
        2.2.3 单根氧化锌纳米线FET的制作第47-49页
        2.2.4 单根氧化锌纳米线FET的测试方法第49-50页
    2.3 单根氧化锌纳米线场效应晶体管性能第50-54页
    2.4 介电层还原气氛退火对纳米结构晶体管性能的影响第54-58页
    2.5 本章小结第58-61页
第3章 气氛退火及表面修饰对氧化锌纳米线电输运性能的影响研究第61-73页
    3.1 引言第61-62页
    3.2 实验方法第62页
    3.3 退火条件对纳米线电输运性能的影响第62-66页
    3.4 金纳米颗粒修饰氧化锌纳米线对其晶体管性能的影响第66-70页
    3.5 本章小结第70-73页
第4章 超薄氧化锌纳米带晶体管研究第73-89页
    4.1 引言第73-74页
    4.2 实验方法第74-77页
        4.2.1 超薄氧化锌纳米带的生长第74页
        4.2.2 样品结构表征第74-77页
    4.3 超薄氧化锌纳米带晶体管性能第77-82页
    4.4 MoO_x作为电极对晶体管性能的调控第82-85页
    4.5 MoO_x修饰氧化锌表面对晶体管性能的调控第85-87页
    4.6 本章小结第87-89页
第5章 基于氧化锌纳米线的紫外光探测器研究第89-101页
    5.1 引言第89页
    5.2 实验方法第89-93页
        5.2.1 光探测器件原理与性能参数第89-92页
        5.2.2 光探测器的制备第92页
        5.2.3 光探测器的测试第92-93页
    5.3 单根氧化锌纳米线紫外光探测器的性能研究第93-97页
        5.3.1 单根氧化锌纳米线光探测性能第93-95页
        5.3.2 电极接触对光探测器件性能的影响第95-97页
    5.4 散乱网状纳米线光探测器的制备与研究第97-99页
    5.5 本章小结第99-101页
第6章 总结第101-103页
参考文献第103-115页
个人简历及博士期间发表的研究成果第115-116页

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