致谢 | 第6-7页 |
摘要 | 第7-9页 |
Abstract | 第9-11页 |
第1章 绪论 | 第15-41页 |
1.1 氧化锌基本性质 | 第16-19页 |
1.2 氧化锌纳米结构制备 | 第19-26页 |
1.2.1 气相制备法 | 第19-23页 |
1.2.2 溶液合成法 | 第23-26页 |
1.3 氧化锌纳米结构的物理特性与应用 | 第26-35页 |
1.3.1 发光与电学特性 | 第26-30页 |
1.3.2 光探测器件 | 第30-33页 |
1.3.3 气敏器件 | 第33-35页 |
1.4 MOS场效应晶体管原理与性能表征 | 第35-39页 |
1.4.1 MOS场效应晶体管基本原理 | 第35-38页 |
1.4.2 MOS场效应晶体管电学性能表征 | 第38-39页 |
1.5 本文主要研究内容与思路 | 第39-41页 |
第2章 介电层对氧化锌场效应晶体管的影响研究 | 第41-61页 |
2.1 引言 | 第41页 |
2.2 实验方法 | 第41-50页 |
2.2.1 氧化锌纳米线的生长 | 第41-43页 |
2.2.2 样品结构表征 | 第43-47页 |
2.2.3 单根氧化锌纳米线FET的制作 | 第47-49页 |
2.2.4 单根氧化锌纳米线FET的测试方法 | 第49-50页 |
2.3 单根氧化锌纳米线场效应晶体管性能 | 第50-54页 |
2.4 介电层还原气氛退火对纳米结构晶体管性能的影响 | 第54-58页 |
2.5 本章小结 | 第58-61页 |
第3章 气氛退火及表面修饰对氧化锌纳米线电输运性能的影响研究 | 第61-73页 |
3.1 引言 | 第61-62页 |
3.2 实验方法 | 第62页 |
3.3 退火条件对纳米线电输运性能的影响 | 第62-66页 |
3.4 金纳米颗粒修饰氧化锌纳米线对其晶体管性能的影响 | 第66-70页 |
3.5 本章小结 | 第70-73页 |
第4章 超薄氧化锌纳米带晶体管研究 | 第73-89页 |
4.1 引言 | 第73-74页 |
4.2 实验方法 | 第74-77页 |
4.2.1 超薄氧化锌纳米带的生长 | 第74页 |
4.2.2 样品结构表征 | 第74-77页 |
4.3 超薄氧化锌纳米带晶体管性能 | 第77-82页 |
4.4 MoO_x作为电极对晶体管性能的调控 | 第82-85页 |
4.5 MoO_x修饰氧化锌表面对晶体管性能的调控 | 第85-87页 |
4.6 本章小结 | 第87-89页 |
第5章 基于氧化锌纳米线的紫外光探测器研究 | 第89-101页 |
5.1 引言 | 第89页 |
5.2 实验方法 | 第89-93页 |
5.2.1 光探测器件原理与性能参数 | 第89-92页 |
5.2.2 光探测器的制备 | 第92页 |
5.2.3 光探测器的测试 | 第92-93页 |
5.3 单根氧化锌纳米线紫外光探测器的性能研究 | 第93-97页 |
5.3.1 单根氧化锌纳米线光探测性能 | 第93-95页 |
5.3.2 电极接触对光探测器件性能的影响 | 第95-97页 |
5.4 散乱网状纳米线光探测器的制备与研究 | 第97-99页 |
5.5 本章小结 | 第99-101页 |
第6章 总结 | 第101-103页 |
参考文献 | 第103-115页 |
个人简历及博士期间发表的研究成果 | 第115-116页 |